МОЦВД улазни прстенови

Семицорек је велики произвођач и добављач графита обложеног силицијум карбидом у Кини. Наши МОЦВД улазни прстенови имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек снабдева МОЦВД улазне прстенове који се користе за таложење и обраду плочица, који су заиста стабилни за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење. Наши МОЦВД улазни прстенови имају графитну конструкцију обложену силицијум карбидом (СиЦ) високе чистоће, која обезбеђује супериорну отпорност на топлоту, равномерну топлотну униформност за конзистентну дебљину и отпорност епи слоја, и трајну хемијску отпорност. Фини СиЦ кристални премаз обезбеђује чисту, глатку површину, критичну за руковање, пошто нетакнуте плочице долазе у контакт са суцептором на многим тачкама по целој површини.

У Семицорек-у се фокусирамо на обезбеђивање висококвалитетних, исплативих МОЦВД улазних прстенова, приоритет дајемо задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.

Параметри улазних прстенова МОЦВД

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300