Хоризонтална коморна пећ СИЦ бродови

Семицорек хоризонтална коморна пећ СИЦ бродови су високограђени део који држи и носи вафло или подлоге, док су подвргнути топлотној обради високих температура у хоризонталној коморној пећи. Пећиште је направљен од жича са високим чистоћима Силицијум карбида (СИЦ), која пружа јединствену комбинацију чврстоће, топлотне стабилности и високе хемијске отпорности који се траже у полуводичкој, фотонапонским и напредним процесима керамике. Пећиште такође делује као крута структура која држи вафла у положају, стабилност димензије и прецизност трупа неће се изгубити продуженом изложеношћу екстремним температурама процеса.

Супериорне својства силицијумског карбида пружају хоризонталну комору СИЦ чамци супериорне предност перформанси у поређењу са типичним материјалима за плочице за маштаве као што је кварцни или глиница. Они могу боље да издрже ретке циклусе грејања и хлађења због своје високе тачке топљења, отпорности топлотног удара и механичке чврстоће, без обзира на брзину грејања и хлађења или екстремима топлотног циклуса. Пошто се хоризонтална пећ ослања у потпуности на доследност ратних ставова и изложености процесних услова, правилно поравнање вафла предвиђа доследан принос и поновљивост процеса. Низак коефицијент топлотне експанзије значи да се брод неће искривити у свом животу и пружити задржан облик и размак вафла.

Финозрнати, густа структура рекристализованог СИЦ-а пружа изузетну отпорност на оксидацију, корозију и контаминацију процесним гасовима и нуспроизводима. Ово чини чамац посебно повољним за процесе агресивне атмосфере као што су дифузија, оксидација, ЛПЦВД и жарење. Висока хемијска инертност СЦ-а избегава реакције са површинама од вафла, чиме се очују чистоћи производа и минимизирајући производњу честица у пећи. Сиц бродови могу помоћи произвођачима којима треба да испуне строгу чистоћу захтеве, пружајући чистију окружење за прераду и побољшани квалитет вафла.

Ови чамци се могу произвести са различитим сложеним геометријама и димензијама одређене специфичности са прецизним техникама обраде и формирања. Дизајн углавном користе више паралелних слотова / утора да се кафиж чврсто држе у хоризонталној оријентацији и равномерно излажу целу површину плоча на топлотне услове. Размак и углови и углови утора и утора такође се могу оптимизовати и за уклањање вафера других пречника, попут 150 мм, 200 мм, или 300 мм, и директног протока ваздуха током обраде ефеката док и даље постижу температуру уједначеност за прераду.

Не само да хоризонтална комора може бити дизајнирана у стандардним одласцима, али могу бити дизајниране да раде са аутоматизованим платнијим утоваривачима, што резултира бешавном интеграцијом у савремене водостајне производне линије високих протока. Робустан дизајн ће такође учинити чамце мање вјероватно да ће се чипати или пробити током руковања и смањити време застоја и трошкове за замену.

Топлотна проводљивостсилицијум карбидПредставља другу кључну предност која олакшава ефикасан пренос топлоте између вафла и животне средине. Предност је да су произвођачи у стању да постигну више једиљније услове обраде и скраћено време циклуса, које могу повећати ефикасност производње. СИЦ чамци пружају доследне и поновљиве резултате да ли се користе за полуводичку фабрику вафли, производњу соларне ћелије или друге напредне обраде материјала на повишеним температурама.

Укратко, хоризонтална комора СИЦ чамци су кључна компонента произвођача који желе да производе вафле са високим перформансама, дуготрајним и контаминацијама. Има механичку чврстоћу, топлотну стабилност и хемијску иностру која је неједнако у апликацијама хоризонталних пећи. Одабиром бродица Силицијум карбида, оператори могу да искористе бољу контролу процеса, веће приносе и минимизирају оперативне прекиде због одржавања. Све у свему предвиђа ефикасније, исплативе ефикасне продукције.