Гасни улазни прстен за полупроводничку опрему

Семицорек је велики произвођач и добављач графитних сусцептора обложених силицијум карбидом у Кини. Фокусирамо се на индустрију полупроводника као што су слојеви силицијум карбида и епитаксијски полупроводници. Наш улазни прстен за гас за полупроводничку опрему има добру предност у цени и покрива многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек гасни улазни прстен за полупроводничку опрему је обложен СиЦ-ом, који је густа облога од силицијум карбида (СиЦ) отпорна на хабање. Има високу отпорност на корозију и топлоту, као и одличну топлотну проводљивост. СиЦ наносимо у танким слојевима на графит коришћењем процеса хемијског таложења паре (ЦВД).

Наш улазни прстен за гас за полупроводничку опрему је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност топлотног профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.

Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем гасном улазном прстену за полупроводничку опрему.

Параметри улазног гасног прстена за полупроводничку опрему

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300