Епитаксијални чамац

Семицорек нуди чамце за плочице, постоља и прилагођене носаче плочица за вертикалне/стубне и хоризонталне конфигурације. Већ дуги низ година смо произвођач и добављач филма за облагање од силицијум карбида. Наш Епитакиал Вафер Боат има добру предност у цени и покрива већину европских и америчких тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек Епитакиал Вафер Боат, савршено решење за обраду плочица у производњи полупроводника. Наши Епитаксијални чамци су направљени од висококвалитетне керамике од силицијум карбида (СиЦ) која пружа врхунску отпорност на високе температуре и хемијску корозију.
Наш Епитакиал Вафер Боат од силицијум карбида има глатку површину која минимизира стварање честица, обезбеђујући највиши ниво чистоће за ваше производе. Са одличном топлотном проводљивошћу и супериорном механичком чврстоћом, наши чамци пружају доследне и поуздане резултате.
Наши Епитакиал Вафер Боатс су компатибилни са свом стандардном опремом за обраду плочица и могу издржати температуре до 1600°Ц. Једноставни су за руковање и чишћење, што их чини исплативим и ефикасним избором за ваше производне потребе.
Наш тим стручњака је посвећен пружању најбољег квалитета и услуге. Нудимо прилагођене дизајне који испуњавају ваше специфичне захтеве, а наши производи су подржани нашим програмом осигурања квалитета.

Параметри Епитакиал Вафер Боат

Тецхницал Пропертиес
Индекс	Јединица	Валуе
Назив материјала		Реакционо синтеровани силицијум карбид	Синтеровани силицијум карбид без притиска	Рекристализовани силицијум карбид
Композиција		РБСиЦ	ССиЦ	Р-СиЦ
Спец.густина	г/цм3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Отпорност на савијање	МПа (кпси)	338(49)	380(55)	80-90 (20°Ц) 90-100 (1400°Ц)
Јачина притиска	МПа (кпси)	1120(158)	3970(560)	> 600
Тврдоћа	Кнооп	2700	2800	/
Бреакинг Тенацити	МПа м1/2	4.5	4	/
Топлотна проводљивост	В/м.к	95	120	23
Коефицијент термичког ширења	10^-6.1/°Ц	5	4	4.7
Специфична топлота	џул/г 0к	0.8	0.67	/
Максимална температура у ваздуху	℃	1200	1500	1600
Еластични модули	Просек оцена	360	410	240

Разлика између ССиЦ и РБСиЦ:

1. Процес синтеровања је другачији. РБСиЦ је да инфилтрира слободни Си у силицијум карбид на ниској температури, ССиЦ се формира природним скупљањем на 2100 степени.

2. ССиЦ има глаткију површину, већу густину и већу чврстоћу, за нека заптивања са строжијим захтевима за површину, ССиЦ ће бити бољи.

3. Различито коришћено време под различитим ПХ и температурама, ССиЦ је дужи од РБСиЦ

Карактеристике епитаксијалног чамца од силицијум карбида

СиЦ високе чистоће обложен МОЦВД-ом
Врхунска отпорност на топлоту и термичка униформност
Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
Висока отпорност на хемијско чишћење
Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и деламинације.