Епи-СиЦ рецептор

Семицорек Епи-СиЦ Сусцептор спој издржљивости при високим температурама, хемијске инертности и супериорне топлотне дифузије, представља узор отпорности и ефикасности у интензивним условима који су синоним за настојања епитаксијалног раста. Примена СиЦ премаза значајно повећава термичке карактеристике Епи-СиЦ сусцептора. Ово побољшање олакшава равномерну дистрибуцију топлоте која је неопходна за загревање плочица, што је кључно за таложење конзистентних, висококвалитетних епитаксијалних слојева преко полупроводничких плочица.

Направљен по мери да испуни строге захтеве епитаксијалних процеса вафера, Епи-СиЦ сусцептор подупире беспрекоран транспорт плочица у окружењу пећи. Његов робустан дизајн је бедем против померања или компромитовања плочице, чиме се смањује учесталост оштећења током критичних фаза развоја епитаксијалног слоја. Поред тога, Епи-СиЦ сусцептор делује као заштитна баријера за графитну подлогу испод, штитећи је од хемијских интеракција и абразије које епитаксијални процеси могу да изазову.

Фузија отпорног графитног језгра са заштитним СиЦ премазом не само да појачава метрику перформанси Епи-СиЦ Сусцептора, већ и значајно продужава његов век трајања. Резултат је инвестиција која доноси дивиденде у виду одрживих оперативних уштеда за предузећа за производњу полупроводника, позиционирајући Епи-СиЦ Сусцептор као разуман избор за оне који желе да оптимизују своје производне операције.