Издржљиви фокусни прстенови за обраду полупроводника

Семицорек издржљиви фокусни прстенови за обраду полупроводника су дизајнирани да издрже екстремна окружења плазма комора за нагризање које се користе у обради полупроводника. Наши фокусни прстенови су направљени од графита високе чистоће обложеног густим премазом од силицијум карбида (СиЦ) отпорног на хабање. СиЦ премаз има висока својства отпорности на корозију и топлоту, као и одличну топлотну проводљивост. Ми наносимо СиЦ у танким слојевима на графит користећи процес хемијског таложења паре (ЦВД) да бисмо побољшали век трајања наших фокусних прстенова.

Пошаљи упит

Опис производа

Наши издржљиви фокусни прстенови за обраду полупроводника су дизајнирани да побољшају униформност нагризања око ивице или периметра плочице, минимизирајући контаминацију и непланирано одржавање. Веома су стабилни за брзо термичко жарење (РТА), брзу термичку обраду (РТП) и грубо хемијско чишћење.

У Семицорек-у се фокусирамо на обезбеђивање висококвалитетних, исплативих и издржљивих прстенова за фокусирање за обраду полупроводника, дајемо приоритет задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.

Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашим издржљивим фокусним прстеновима за обраду полупроводника.

Параметри издржљивих фокусних прстенова за обраду полупроводника

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300