Горњи прстенови обложени ЦВД СиЦ-ом

ЦВД СиЦ-обложени горњи уземљени прстенови се обично инсталирају у горњем делу реакционе коморе у опреми за нагризање плазмом, око електростатичке стезне главе. Горњи прстенови обложени ЦВД СиЦ-ом су од виталног значаја за цео систем јеткања, који може деловати као физичка баријера за заштиту компоненти уређаја од напада плазме и прилагођавање унутрашњег електричног поља и ограничавање опсега дистрибуције плазме како би се обезбедили уједначени резултати јеткања.

Плазма јеткање је технологија сувог јеткања која се широко користи у производњи полупроводника, која функционише коришћењем физичких и хемијских интеракција између плазме и површине полупроводничких материјала за селективно уклањање одређених области, чиме се постиже обрада прецизних структура. У захтевном окружењу плазма нагризања, високоенергетска плазма изазива агресивну корозију и напад на компоненте унутар реакционе коморе. Да би се обезбедио поуздан и ефикасан рад, компоненте коморе морају имати одличну отпорност на корозију, механичка својства и ниске карактеристике контаминације. Горњи прстенови обложени Семицорек ЦВД СиЦ-ом су савршено дизајнирани да се носе са овим тешким радним окружењима са високом корозијом.

Поуздан ЦВД СиЦ премаз

За боље перформансе у тешким условима јеткања, горњи прстенови обложени Семицорек ЦВД СиЦ прекривени су ЦВД СиЦ премазом високих перформанси, који додатно побољшава њихове перформансе и издржљивост.

1. Ултра-висока чистоћа

ТхеСиЦ премазпроизведен ЦВД поступком има одличну густоћу са ултра-високом чистоћом (чистоћа прелази 99,9999%), што може спречити Семицорек ЦВД СиЦ обложене горње прстенове од високоенергетског напада плазме у апликацијама јеткања, чиме се избегава контаминација узрокована честицама нечистоћа из матрица.

2. Побољшана отпорност на корозију

СиЦ премаз произведен ЦВД поступком нуди побољшану отпорност на корозију, чинећи Семицорек ЦВД СиЦ обложене горње прстенове ефективно отпорним на изазовну корозију из плазме (посебно корозивних гасова као што су халогени и флуор).

3. Побољшана механичка својства

Горњи прстенови обложени Семицорек ЦВД СиЦ могу издржати интензивно бомбардовање плазмом, механичко напрезање и често руковање без деформација или лома током дуготрајне употребе захваљујући побољшаној тврдоћи и отпорности на хабање ЦВД СиЦ премаза.

Високо-стандардна обрада и контрола квалитета

Да би се савршено прилагодили захтевним условима јеткања полупроводника, горње брушени прстенови обложени Семицорек ЦВД СиЦ подлежу прецизној машинској обради и строгој инспекцији.

Површинска обрада: Прецизност полирања је Ра < 0,1µм; прецизност финог млевења је Ра > 0,1µм

Прецизност обраде се контролише унутар ≤ 0,03 мм

Инспекција квалитета:

Семицорек чврсти ЦВД СиЦ прстенови подлежу ИЦП-МС (индуктивно спрегнутој плазма масеној спектрометрији) анализи. Семицорек чврсти ЦВД СиЦ прстенови подлежу мерењу димензија, тестирању отпорности и визуелној инспекцији, гарантујући да су производи без струготина, огреботина, пукотина и других оштећења.