8-инчни прстенови одјуга

Семицорек 8-инчни вијесни прстенови су врхунска хардвер за обраду полуводича намењена да безбедно обезбеде и подржавају силиконске вафла кроз важне топлотне, јеткове и поступке. Изграђен од висококвалитетног графита са густомпремаз силицијум карбида (сиц)За додатну снагу, прстен за резање даје врхунску топлотну стабилност, хемијску отпорност и механичку чврстоћу, пружајући га идеалним за употребу у високим температурама и корозивним окружењима као што су ЦВД (хемијска таложење паре), ПЕЦВД и ЕПИТАКСИ.

Кључне карактеристике:

Састав материјала:

Материјал подлоге јеГРАФИТЕ ГРАФИТЕ, који је изабран за високу топлотну проводљивост и структурну хомогеност. Висока густина и униформаСИЛИЦОН ЦАРБИДЕ (СИЦ) ФИЛМ ДОМАИНГнаноси се на површини, показује високу отпорност на оксидацију и хемијски напад чак и на повишеним температурама већим од 1000 ° Ц. Смеша садржи рок трајања дугог трајања и минималан ризик од контаминације вафла.

Сигурно позиционирање вафла

Дизајнирано да држи 8-инчне (200 мм) вафере, прстен за вафер држи прецизне толеранције и оптимално дизајнирана унутрашња геометрија да би се чврсто примило решетка. Прстен остаје стабилан у положају током топлотног бициклизма и тока гаса, минимизирање микро-покрета који би могао довести до креирања честица или палирањем на лице.

Топлотна униформност:

Урођена топлотна проводљивост графитне подлоге и стабилност СИЦ премаза осигуравају доследну пренос топлоте преко површине резина. То резултира доследним резултатима процеса, смањени термички стрес и бољи принос уређаја.

Резистенција за хемијску и плазму:

Површина СИЦ штити графитно језгро са оштрих процесних плазма и гасова, нудећи отпор на поновљене процесне циклусе. Хемијска инертност је посебно корисна у корозивним арозивним и реактивним гасовима која садржи јебрању.

Доступна прилагодба:

8-инчни прстенови од вафер-а могу бити дизајнирани прилагођени специфичној опреми или захтевима процеса, тј. Варијације у дизајну подршке ивицама, локацији утора и конфигурације уградње. Наши дизајнери раде са ОЕМ-овима и ФАБС-ом да би се омогућило највиши могућа учинка за сваку употребу.

Апликације:

• ЛПЦВД / ПЕЦВД / АПЦВД
• Процеси раста епитаксија
• Пећи за дифузију
• Високо-температурално жарење
• Остали системи термичких обраде полуводича

Сваки 8-инчни прстенови од вафер-а протјечу се ригорозна инспекција попут верификације преимензивања, прекривене тестове адхезије и топлотне бициклизне квалификације. Наша напредна технологија производње осигурава уједначену дебљину густине и најфиније површине за испуњење високих захтева индустрије полуводича.

Семицорек 8-инчни прстенови од вафер-а (Сиц-пресклађени графит) су суштинска опрема за производњу полуводичке производње следеће генерације, пружајући механичку прецизност, материјалну трајност и хемијску стабилност. Од надоградње прерађених опреме до изградње платформи за резину за наредне генерације, овај производ нуди поузданост и перформансе потребне за омогућавање данашње захтевне производне окружења.