Графит за превлаку ТаЦ настаје облагањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД).
Тантал карбид (ТаЦ) је једињење које се састоји од тантала и угљеника. Има металну електричну проводљивост и изузетно високу тачку топљења, што га чини ватросталним керамичким материјалом познатим по својој чврстоћи, тврдоћи и отпорности на топлоту и хабање. Тачка топљења тантал карбида достиже максимум на око 3880°Ц у зависности од чистоће и има једну од највиших тачака топљења међу бинарним једињењима. Ово га чини атрактивном алтернативом када захтеви за вишим температурама превазилазе могућности перформанси које се користе у епитаксијалним процесима сложених полупроводника као што су МОЦВД и ЛПЕ.
Подаци о материјалу Семицорек ТаЦ Цоатинга
Пројекти |
Параметерс |
Густина |
14,3 (гм/цм³) |
Емисивност |
0.3 |
ЦТЕ (×10-6/К) |
6.3 |
Тврдоћа (ХК) |
2000 |
Отпор (ом-цм) |
1×10-5 |
Термичка стабилност |
<2500℃ |
Промена димензија графита |
-10~-20ум (референтна вредност) |
Цоатинг Тхицкнесс |
≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
|
|
Горе наведене су типичне вредности |
|
Порозни графит са премазом Семицорек ТаЦ, је напредни материјал високе чистоће за обраду полупроводника. Овај кључни део опреме игра кључну улогу у процесу раста монокристалног СиЦ. Семицорек је посвећен пружању квалитетних производа по конкурентним ценама, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионална производња, желели бисмо да вам пружимо прстенове обложене ТаЦ-ом. Представљамо ЦВД Тац Цоатед Ринг, најсавременије решење за полупроводничку опрему. Овај врхунски производ се може похвалити напредним премазом за хемијско таложење паре (ЦВД) који пружа изузетну издржљивост и отпорност на хабање и хабање.
ОпширнијеПошаљи упитПредстављамо лончић обложен ЦВД Тац, савршено решење за произвођаче полупроводничке опреме и кориснике који захтевају највиши ниво квалитета и перформанси. Наши лончићи су обложени најсавременијим слојем ЦВД Тац (тантал-карбид), који пружа врхунску отпорност на корозију и хабање, што их чини идеалним за употребу у различитим полупроводничким апликацијама.
ОпширнијеПошаљи упит