Епитаксијално таложење силицијума у бачвастом реактору

Ако вам је потребан графитни сусцептор високих перформанси за употребу у апликацијама за производњу полупроводника, Семицорек силицијумски епитаксијални реактор за таложење у бачви је идеалан избор. Његов СиЦ премаз високе чистоће и изузетна топлотна проводљивост обезбеђују врхунску заштиту и својства расподеле топлоте, што га чини избором за поуздане и доследне перформансе чак и у најизазовнијим окружењима.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек силицијумски епитаксијални реактор за епитаксијално таложење у бачви је идеалан производ за узгој епиксијалних слојева на чиповима вафла. То је графитни носач високе чистоће обложен СиЦ који је веома отпоран на топлоту и корозију, што га чини савршеним за употребу у екстремним окружењима. Овај носач цеви је погодан за ЛПЕ и пружа одличне термичке перформансе, обезбеђујући равномерност топлотног профила. Поред тога, гарантује најбољи ламинарни образац протока гаса и спречава дифузију контаминације или нечистоћа у плочицу.

У Семицорек-у се фокусирамо на пружање висококвалитетних, исплативих производа нашим купцима. Наш силицијумски епитаксијални реактор за таложење у бачви има предност у цени и извози се на многа европска и америчка тржишта. Циљ нам је да будемо ваш дугорочни партнер, испоручујући производе доследног квалитета и изузетну услугу за кориснике.

Параметри епитаксијалног таложења силицијума у бачвастом реактору

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике силицијумског епитаксијалног таложења у бачвастом реактору

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију високе температуре, отпорност на корозију.