Сусцептор бачве реактора обложеног карбидом

Реацтор Баррел Сусцептор са Семицорек карбидом је висококвалитетни графитни производ обложен СиЦ-ом високе чистоће, дизајниран посебно за ЛПЕ процесе. Са одличном отпорношћу на топлоту и корозију, овај производ је савршен за употребу у производњи полупроводника.

Пошаљи упит

Опис производа

Ако тражите графитни сусцептор високих перформанси за формирање епитаксијалног слоја на полупроводничким плочицама, Реацтор Баррел Сусцептор са Семицорек карбидом је одличан избор. Његов премаз од силицијум карбида обезбеђује супериорну дистрибуцију топлоте и топлотну проводљивост, обезбеђујући изузетне перформансе чак и у најзахтевнијим окружењима са високим температурама.

У Семицорек-у се фокусирамо на обезбеђивање висококвалитетних, исплативих цевних цеви реактора обложених карбидом, дајемо приоритет задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.

Параметри бачве реактора обложеног карбидом

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике реакторске цеви обложене карбидом

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.