Сусцептор бачва обложена СиЦ-ом за ЛПЕ реакторску комору

Семицорек-ова СиЦ-обложена сусцепторна цев за ЛПЕ реакторску комору је производ врхунског квалитета, произведен по највишим стандардима прецизности и издржљивости. Нуди одличну топлотну проводљивост, отпорност на корозију и веома је погодан за ЛПЕ апликације у производњи полупроводника.

Наша СиЦ-обложена сусцепторна цев за ЛПЕ реакторску комору је дизајнирана да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.

Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашој бачви суцептора обложеном СиЦ-ом за ЛПЕ реакторску комору.

Параметри суцептора обложеног СиЦ-ом за комору реактора ЛПЕ

Карактеристике СиЦ-пресвучене цеви суцептора за ЛПЕ реакторску комору

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.