СиЦ-превучена сусцепторна цев за епитаксијалну реакторску комору

Семицорек-ова СиЦ-обложена сусцепторна цев за епитаксијалну реакторску комору је производ врхунског квалитета, произведен по највишим стандардима прецизности и издржљивости. Нуди одличну топлотну проводљивост, отпорност на корозију и веома је погодан за већину епитаксијалних реактора у производњи полупроводника.
Наша СиЦ-обложена цев за пријемник за епитаксијалну реакторску комору је дизајнирана да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да сазнате више о нашој бачви суцептора обложеном СиЦ-ом за епитаксијалну реакторску комору.

Параметри сусцепторне цеви обложене СиЦ-ом за епитаксијалну реакторску комору

Карактеристике СиЦ-пресвучене цеви суцептора за епитаксијалну реакторску комору

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију високе температуре, отпорност на корозију.