Графитно буре пресвучено силицијум-карбидом

Семицорек графитна цев обложена силицијум-карбидом је савршен избор за апликације у производњи полупроводника које захтевају високу отпорност на топлоту и корозију. Његова изузетна својства топлотне проводљивости и расподеле топлоте чине га идеалним за употребу у ЛПЕ процесима и другим окружењима са високим температурама.

Пошаљи упит

Опис производа

Када је у питању производња полупроводника, Семицорек графитна цев обложена силицијум карбидом је најбољи избор за изузетне перформансе и поузданост. Његов висококвалитетни СиЦ премаз и супериорна густина и топлотна проводљивост обезбеђују врхунску дистрибуцију топлоте и заштиту чак иу најизазовнијим окружењима високе температуре и корозије.

Наша графитна цев обложена силицијум-карбидом обезбеђује равномеран термички профил, гарантујући најбољи ламинарни образац протока гаса. Спречава дифузију било какве контаминације или нечистоћа у плочицу, што га чини идеалним за употребу у чистим просторијама. Семицорек је велики произвођач и добављач СиЦ обложеног графитног сусцептора у Кини, а наши производи имају добру предност у цени. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у индустрији полупроводника.

Параметри графитног бурета обложеног силицијум карбидом

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике графитне цеви обложене силицијум-карбидом

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.