Кина СиЦ супстрат Мануфацтурерс, Супплиерс, Фацтори

Танка кришка полупроводничког материјала назива се плочица, која се састоји од веома чистог монокристалног материјала. У процесу Чохралског, цилиндрични ингот високо чистог монокристалног полупроводника се прави извлачењем зачменог кристала из растопа.

Силицијум карбид (СиЦ) и његови политипови су дуго времена били део људске цивилизације; Технички интерес за ову чврсту и стабилну смешу су 1885. и 1892. године реализовали Цовлесс и Ацхесон за потребе млевења и сечења, што је довело до његове производње у великим размерама.

Одлична физичка и хемијска својства чине силицијум карбид (СиЦ) истакнутим кандидатом за разне примене, укључујући уређаје високе температуре, велике снаге и високе фреквенције и оптоелектронске уређаје, структурну компоненту у фузионим реакторима, материјал за облагање за гасно хлађене фисиони реактори и инертна матрица за трансмутацију Пу. Различити поли-типови СиЦ као што су 3Ц, 6Х и 4Х су широко коришћени. Имплантација јона је критична техника за селективно увођење додатака за производњу уређаја на бази Си, за производњу СиЦ плочица п-типа и н-типа.

Инготсе затим сече да би се формирале СиЦ плочице од силицијум карбида.

Својства материјала силицијум карбида

Различите врсте СиЦ плочица

Постоје три типа:н-тип сиц вафер, п-тип сиц вафериполуизолациона сиц плочица високе чистоће. Допинг се односи на имплантацију јона која уноси нечистоће у кристал силицијума. Ове допанте омогућавају атомима кристала да формирају јонске везе, чинећи некада унутрашњи кристал екстринзичним. Овај процес уводи две врсте нечистоћа; Н-тип и П-тип. „Тип“ који постаје зависи од материјала који се користе за стварање хемијске реакције. Разлика између Н-типа и П-типа СиЦ плочице је примарни материјал који се користи за стварање хемијске реакције током допинга. У зависности од материјала који се користи, спољна орбитала ће имати пет или три електрона чинећи један негативно наелектрисан (Н-тип) и један позитивно наелектрисан (П-тип).

Н-тип СиЦ плочице се углавном користе у новим енергетским возилима, високонапонским преносницима и подстаницама, белој техници, брзим возовима, моторима, фотонапонским инвертерима, импулсним изворима напајања итд. Имају предности смањења губитка енергије опреме, побољшања поузданост опреме, смањење величине опреме и побољшање перформанси опреме, и имају незаменљиве предности у изради енергетских електронских уређаја.

Полуизолациона СиЦ плочица високе чистоће се углавном користи као подлога за РФ уређаје велике снаге.

Епитаксија - ИИИ-В таложење нитрида

СиЦ, ГаН, АлкГа1-кН и ИниГа1-иН епитаксијални слојеви на СиЦ супстрату или сафирној подлози.