4-инчни Н-тип СиЦ подлога

Семицорек нуди различите типове 4Х и 6Х СиЦ плочица. Већ дуги низ година смо произвођач и добављач производа од силицијум карбида. Наш 4-инчни Н-тип СиЦ супстрат има добру предност у цени и покрива већину европских и америчких тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек има комплетну линију производа од силицијум карбида(СиЦ), укључујући 4Х и 6Х подлоге са Н-типом, П-типом и полуизолационим плочицама високе чистоће, могу бити са или без епитаксије. 4-инчни Н-тип СиЦ (силицијум карбид) супстрат је врста висококвалитетне плочице направљене од једног кристала силицијум карбида са допингом Н-типа.

4-инчни Н-тип СиЦ супстрат се углавном користи у новим енергетским возилима, високонапонским преносима и подстаницама, белој техници, брзим возовима, електричним моторима, фотонапонским инвертерима, импулсним изворима напајања и другим пољима, који имају предности смањења опреме губитак енергије, побољшање поузданости опреме, смањење величине опреме и побољшање перформанси опреме и имају незаменљиве предности у изради енергетских електронских уређаја.

Предмети	Производња	Истраживања	Думми
Цристал Параметерс
Политипе	4Х
Грешка у оријентацији површине	<11-20 >4±0,15°
Елецтрицал Параметерс
Допант	н-тип азота
Отпорност	0,015-0,025 охм·цм
Механички параметри
Пречник	99,5 - 100 мм
Дебљина	350±25 И¼м
Примарна равна оријентација	[1-100]±5°
Примарна равна дужина	32,5±1,5 мм
Секундарни равни положај	90° ЦВ од примарног равног ±5°. силицијум лицем нагоре
Секундарна равна дужина	18±1.5мм
ТТВ	а¤5 И¼м	а¤10 И¼м	а¤20 И¼м
ЛТВ	а¤2 И¼м(5мм*5мм)	а¤5 И¼м(5мм*5мм)	НА
Лук	-15И¼м ~ 15И¼м	-35И¼м ~ 35И¼м	-45И¼м ~ 45И¼м
Варп	а¤20 И¼м	а¤45 И¼м	а¤50 И¼м
Предња (Си-фаце) храпавост (АФМ)	Раа¤0,2нм (5И¼м*5И¼м)
Структура
Густина микропипе	а¤1 еа/цм2	а¤5 еа/цм2	а¤10 еа/цм2
Металне нечистоће	а¤5Е10атома/цм2		НА
БПД	а¤1500 еа/цм2	а¤3000 еа/цм2	НА
ТСД	а¤500 еа/цм2	а¤1000 еа/цм2	НА
Фронт Куалити
Фронт	Си
Завршна обрада	Си-фаце ЦМП
Честице	а¤60еа/вафер (величинаа¥0,3И¼м)	НА
Огреботине	а¤2еа/мм. Кумулативна дужина а¤Пречник	Кумулативна дужинаа¤2*Пречник	НА
Наранџина кора/рупице/мрље/пруге/пукотине/загађење	Ниједан		НА
Ивичне струготине / удубљења / фрактуре / хексадецималне плоче	Ниједан		НА
Политипске области	Ниједан	Кумулативна површинаа¤20%	Кумулативна површинаа¤30%
Предње ласерско обележавање	Ниједан
Бацк Куалити
Завршна обрада	Ц-фаце ЦМП
Огреботине	а¤5еа/мм, кумулативна дужинаа¤2*Пречник	НА
Дефекти на полеђини (ивичњаци/удубљења)	Ниједан
Храпавост леђа	Раа¤0,2нм (5И¼м*5И¼м)
Ласерско обележавање леђа	1 мм (од горње ивице)
Ивица
Ивица	Цхамфер
Паковање
Паковање	Унутрашња врећа је напуњена азотом, а спољна врећа се усисава. Мулти-вафер касета, епи-реади.
*Напоменеи¼ "НА" значи да нема захтева Ставке које нису поменуте могу се односити на СЕМИ-СТД.