СиЦ Паддлес

Семицорек СиЦ лопатице су „носачи“ плочица, који носе облатне у пећи топлије од 1000 степени Целзијуса. Ово је њихова кључна предност: висока чистоћа, стабилност на високим температурама, за одржавање механичке крутости приликом транспорта узорка у екстремним окружењима. Материјали високе чистоће су ефикасни у спречавању да металне нечистоће контаминирају плочицу; као и стабилност високе температуресилицијум карбида, јер ће одржавати хемијску стабилност на температурама обраде које спречавају испуштање металних нечистоћа или честица од контаминације плочице, обезбеђујући стабилан принос плочице. на крају,конзолна веслатакође су компатибилни са интегрисаним системима преноса плочица, додатно смањујући зависност од људи и повећавајући проток.

СиЦ лопатице су јединствена компонента носача, посебно за транспорт и интеграцију полупроводничке плочице у серијско радно оптерећење у процесима као што су оксидација и дифузија при високим температурама, између осталог. Направљен са високом чистоћомсилицијум карбид (СиЦ), СиЦ лопатице обезбеђују термичку стабилност, механичку чврстоћу и хемијску издржљивост како би се обезбедио стабилан транспорт изнад температура од 1000 °Ц. СиЦ лопатице су потребне за обраду плочица: оне ће обезбедити да се са ломљивим супстратима може правилно руковати уз одржавање интегритета и конзистентности током процеса оксидације, дифузије и жарења.

Дизајниране да буду робусне и поуздане, СиЦ лопатице су конзолна рука која држи чамце или наслагане плочице. Лопатица подржава плочице док се убацују или уклањају из процесне коморе. Конвенционални материјали не успевају на овим високим температурама кроз деформацију, савијање или хемијску деградацију. Механичка стабилност и структурни интегритет силицијум карбида омогућавају лопатици да преживи више термичких циклуса без губитка облика или функције. Ова способност је важна за одржавање поравнања пећи, обезбеђујући да се плочице не оштете током процеса и минимизирају скупо време застоја.

Термичка стабилност СиЦ лопатица је допуњена његовом одличном хемијском отпорношћу на реактивне гасове који се обично појављују у процесима оксидације и дифузије (нпр. кисеоник, хлор и друге агресивне врсте на високој температури). Многи материјали ће бити уништени или контаминирани када су изложени и високој температури и кисеонику. Силицијум карбид је хемијски инертан и његова густа микроструктура обезбеђује да се хемијске реакције неће десити, обезбеђујући структурни интегритет лопатице и чисто окружење за плочицу. Резултирајући ризик од контаминације је сведен на минимум за произвођаче полупроводника који раде на неким од најнапреднијих процесних чворова за које чак и елементи у траговима контаминама могу изазвати значајне промјене у перформансама уређаја.

Механички интегритет повезан са СиЦ лопатицама такође пружа вредност у процесима руковања. Конзолни структурални облик захтева материјал који може да издржи тежину наслага слојева и који се не савија или савија. Веома висок модул силицијум карбида и веома висока тврдоћа чине га добрим разматрањем за потребну механичку структурну функцију. СиЦ Паддле задржава и равност и структуру чак и напуњену плочицама. То значи сталну контролу пећи и њених услова током дугих периода производње.