СиЦ керамичко весло

Семицорек СиЦ керамичка лопатица је напредни део који је развијен за примене у високотемпературним полупроводничким пећима као што су оксидација и дифузија. Лопатица делује као конзолни ослонац за држање и померање плочица на високим температурама. Семицорек СиЦ керамичка лопатица даје керамичке компоненте високе чистоће, високе чврстоће процесима на високим температурама који захтевају поузданост, стабилност и перформансе које захтевају кроз производни процес.

Лопатице се производе од високе чистоћесилицијум карбид (СиЦ), посебно формулисан да издржи тешка термичка и хемијска окружења процеса производње полупроводника. Када се облатне третирају оксидацијом и дифузијом, облатне се излажу температурама већим од 1000 степени Ц, као и реактивним гасовима као што су кисеоник, пара или атмосфера допанта. На овим температурама, интегритет структуре зависиће од чистоће материјала.

Још једна важна карактеристика СиЦ керамичких лопатица је њихов врхунски учинак на високим температурама. Због тачке топљења СиЦ од 2700+Ц, лопатице задржавају снагу и механичку стабилност када су изложене високим температурама.

пературе током времена. Термичка својства ограничавају савијање и пуцање материјала током поновљених циклуса грејања и хлађења, истовремено обезбеђујући дуг радни век у производним окружењима.

лопатице, са својом комбинацијом високе чистоће, термичке стабилности, механичке чврстоће и хемијске отпорности, су суштински материјали у процесима оксидације и дифузије полупроводника. Пружајући стабилну, чисту платформу за пренос плочица, они директно доприносе побољшаном приносу, конзистентности процеса и укупној ефикасности производње.СиЦСвојом инхерентном чврстоћом и крутошћу, поседују добра својства носивости са минималним угибом, што је неопходно за правилно руковање плочицама и поравнавање. У оксидационим и дифузионим пећима, корозивне атмосфере могу да нападну и деградирају традиционалне материјале током времена, али СиЦ има способност да одржи своју хемијску стабилност, продужавајући век употребе лопатице. Ово резултира драматично смањеним трошковима одржавања и замене, пошто лопатице не морају да се мењају или поправљају ни приближно тако често.

Поред перформанси, постоји флексибилност у прилагођавању лопатица за специфичну опрему и процесе. Димензије, толеранције и обрада површине могу се учинити флексибилним како би се осигурало уклапање између дизајна пећи и било којег другог система за руковање плочицама. Способност постизања високог степена тачности димензија уз прецизну машинску обраду керамике ће такође омогућити производњу лопатица које задовољавају сложене геометрије. Цео овај низ функција је намењен да обезбеди беспрекоран рад и лаку интеграцију у постојеће производне линије.

СиЦ керамикалопатице, са својом комбинацијом високе чистоће, термичке стабилности, механичке чврстоће и хемијске отпорности, су суштински материјали у процесима оксидације и дифузије полупроводника. Пружајући стабилну, чисту платформу за пренос плочица, они директно доприносе побољшаном приносу, конзистентности процеса и укупној ефикасности производње.