Епитаксијална бачва реактора обложена СиЦ

Семицорек СиЦ Цоатед Епитакиал Реацтор Баррел је висококвалитетни графитни производ обложен СиЦ високе чистоће. Његова одлична густина и топлотна проводљивост чине га идеалним избором за употребу у ЛПЕ процесима, пружајући изузетну дистрибуцију топлоте и заштиту у корозивним и високотемпературним срединама.

Пошаљи упит

Опис производа

Када је у питању производња полупроводника, Семицорек СиЦ обложена епитаксијална реакторска цев је најбољи избор за врхунске перформансе и изузетну дистрибуцију топлоте. Обложен СиЦ-ом високе чистоће, овај графитни производ пружа изузетну отпорност на корозију и топлоту, обезбеђујући поуздане и доследне резултате сваки пут.

У Семицорек-у се фокусирамо на пружање висококвалитетних, исплативих производа нашим купцима. Наша бачва епитаксијалног реактора обложена СиЦ-ом има предност у цени и извози се на многа европска и америчка тржишта. Циљ нам је да будемо ваш дугорочни партнер, испоручујући производе доследног квалитета и изузетну услугу за кориснике.

Параметри епитаксијалне цеви реактора обложене СиЦ

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике бачве епитаксијалног реактора обложене СиЦ

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.