Планетарни пријемници обложени СиЦ-ом

Планетарни пријемници обложени Семицорек СиЦ су незаменљива потпорна компонента дизајнирана за епитаксијални раст полупроводника у опреми Аиктрон Г2, у којој су у стању да безбедно подрже плочице и ротирају на начин планетарног кретања. На овај начин се може успешно постићи прецизна термичка униформност и равномерна дистрибуција гаса по површини плочице, што резултира наношењем епитаксијалног слоја врхунског квалитета на плочице.

Предности планетарних пријемника обложених Семицорек СиЦ

1. Мулти-вафер џепни дизајн

Семицорек СиЦ пресвученпланетарни пријемнициодликује се равномерном расподелом неколико џепова за плочице са прецизно контролисаним димензијама. Ови џепови за плочице су у стању да чврсто држе подлоге за плочице током процеса епитаксијалног раста, што може ефикасно да минимизира варијације епитаксијалног процеса узроковане нежељеним померањем супстрата плочице. Поред тога, овај џепни дизајн са више плоча омогућава да се више подлога подлога подвргне епитаксијалном таложењу истовремено у једном процесу, што увелико побољшава укупну ефикасност процеса епитаксијалног раста.

2. Оптимизовани распоред отвора за проток гаса

Семицорек укључује пажљиво пројектован сет канала за проток гаса у својеСиЦ-цаотедпланетарни пријемници, који побољшава оптимизацију динамике протока гаса и топлотне униформности преко површине плочице током епитаксијалног процеса. Овај промишљени дизајн омогућава прецизну контролу над протоком гаса и дистрибуцијом унутар реакционе коморе, што је неопходно за постизање висококвалитетних танких филмова, уједначене дебљине слоја и поузданих укупних перформанси уређаја.

3. Ултра-висока чистоћа

Планетарни пријемници обложени Семицорек СиЦ произведени су од материјала ултра високе чистоће и изузетно ниског нивоа нечистоћа, у потпуности испуњавајући строге захтеве за чистоћу производње полупроводника. Они ефикасно минимизирају контаминацију плочице узроковану испуштањем метала, чак и под условима високе температуре и корозије типичним за епитаксијалне процесе.

4. Дуготрајан радни век

Семицорек-ова контрола квалитета почиње нашим ригорозним одабиром сировина. Планетарни пријемници обложени СиЦ-ом су прецизно произведени од графита и силицијум карбида, који нуде одличну отпорност на високе температуре и отпорност на корозију, што их чини савршено отпорним на изазовне високе температуре, високо корозивне епитаксијалне услове рада. Са овим одличним својствима материјала, планетарни пријемници обложени Семицорек-ом са СиЦ-ом могу да одрже своје конзистентне перформансе и структурни интегритет и избегну оштећење површине и пад перформанси у реакционим коморама на високим температурама и високој корозији, што у великој мери продужава радни век планетарних пријемника обложених СиЦ-ом.