Сусцептор раста кристала обложен СиЦ-ом

Са својом високом тачком топљења, отпорношћу на оксидацију и отпорношћу на корозију, Семицорек СиЦ-превучени кристални сусцептор за раст је идеалан избор за употребу у апликацијама раста монокристала. Његов премаз од силицијум карбида пружа одличну равност и својства расподеле топлоте, што га чини идеалним избором за окружења са високим температурама.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек СиЦ-Цоатед Цристал Гровтх Сусцептор је савршен избор за формирање епитаксијалног слоја на полупроводничким плочицама, захваљујући својој изузетној топлотној проводљивости и својствима расподеле топлоте. Његов СиЦ премаз високе чистоће пружа врхунску заштиту чак иу најзахтевнијим окружењима високе температуре и корозије.
Наш сусцептор за раст кристала обложен СиЦ је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем Сиц-Цоатед Цристал Гровтх Сусцептор.

Параметри сусцептора раста кристала обложеног СиЦ-ом

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике сусцептора за раст кристала обложеног СиЦ-ом

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију високе температуре, отпорност на корозију.