Са својом високом тачком топљења, отпорношћу на оксидацију и отпорношћу на корозију, Семицорек СиЦ-обложени ЛПЕ кристални сусцептор је идеалан избор за употребу у апликацијама раста монокристала. Његов премаз од силицијум-карбида пружа одличну равност и својства расподеле топлоте, што га чини идеалним избором за окружења са високим температурама.
Семицорек СиЦ-Цоатед ЛПЕ Цристал Гровтх Сусцептор је савршен избор за формирање епиксијалног слоја на полупроводничким плочицама, захваљујући својој изузетној топлотној проводљивости и својствима расподеле топлоте. Његов СиЦ премаз високе чистоће пружа врхунску заштиту чак иу најзахтевнијим окружењима високе температуре и корозије.
Наш СИЦ-превучени ЛПЕ сусцептор за раст кристала је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем СИЦ-цоатед ЛПЕ кристалном сусцептору за раст.
Параметри сусцептора раста ЛПЕ кристала обложеног СиЦ
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД својства |
||
Кристална структура |
ФЦЦ И² фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величине зрна |
И¼м |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимације |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Иоунг'с Модулус |
Гпа (4пт савијање, 1300а) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике СиЦ-превученог ЛПЕ кристала за раст сусцептора
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.
- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.
- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.