Графитна посуда обложена СиЦ

Као примарна компонента епитаксијалне опреме,Графитна посуда обложена СиЦ, директно утиче на ефикасност производње, униформност и стопу дефекта раста епитаксијалног слоја.    

Кроз пречишћавање графита, прецизну обраду и третман чишћења, површина графитне подлоге може постићи одличну равност и глаткоћу, успешно избегавајући ризик од контаминације честицама. Кроз хемијско таложење паре, површина графитне подлоге пролази кроз хемијску реакцију са реактивним гасом, стварајући густу, без пора и равномерно дебелу превлаку од силицијум карбида (СиЦ). Од припреме подлоге до обраде премаза, цео производни процес се одвија у чистој просторији класе 100, која задовољава стандарде чистоће погодне за полупроводнике.

Графитна посуда обложена СиЦ која је направљена од графита високе чистоће и ниске нечистоће и СиЦ материјала, има одличну топлотну проводљивост и низак коефицијент топлотног ширења. Он не само да омогућава графитној посуди обложеној СиЦ-ом да брзо и равномерно преноси топлоту како би се побољшао квалитет раста епитаксијалног слоја, већ и ефикасно смањује ризик од распадања или пуцања премаза услед термичког напрезања. Поред тога, равномерни и густи СиЦ премаз је отпоран на високе температуре, оксидацију и корозију, обезбеђујући стабилан рад током дугог времена под условима високе температуре и корозивног гаса.

Графитна тацна обложена СиЦ има већу компатибилност са опремом за таложење метал-органске паре (МОЦВД). Пажљиво је димензионисан и дизајниран да се прилагоди различитим процесним параметрима и захтевима опреме. Семицорек увек инсистира на пружању професионалних услуга по мери нашим цењеним купцима како би прецизно испунили њихове захтеве за различите величине, дебљине премаза и храпавост површине графитне плоче обложене СиЦ.