Вафер Аццептор

Семицорек Вафер Сусцептор је стручно израђен од графита и обложен силицијум карбидом (СиЦ) како би испунио захтевне услове модерне производње полупроводника.

У процесима епитаксије, одржавање стабилног и контролисаног окружења је апсолутно неопходно. Вафер Сусцептор служи као темељна платформа на коју се постављају плочице током таложења, испуњавајући прецизне захтеве за уједначеност температуре, хемијску инертност и механичку чврстоћу за постизање висококвалитетних епитаксијалних слојева.

Избор графита као основног материјала за Вафер Сусцептор је вођен његовом одличном топлотном проводљивошћу и механичким својствима. Способност графита да издржи високе температуре уз одржавање структуралног интегритета је кључна у високотемпературном окружењу епитаксијских реактора. Поред тога, топлотна проводљивост графита обезбеђује ефикасну дистрибуцију топлоте по плочи, смањујући ризик од температурних градијента који би могли довести до дефеката у епитаксијалном слоју.

Да би се побољшале перформансе Вафер Сусцептора, премаз од силицијум карбида (СиЦ) се стручно наноси на графитну подлогу. СиЦ је веома издржљив материјал са супериорном хемијском отпорношћу, што га чини идеалним за употребу у полупроводничким окружењима где су често присутни реактивни гасови. СиЦ премаз обезбеђује заштитну баријеру која штити графит од потенцијалних хемијских реакција, обезбеђујући дуговечност подложне плочице и одржавајући чисто окружење унутар реактора.

Семицорек Вафер Сусцептор направљен од графита обложеног СиЦ је незаменљива компонента у процесима епитаксије полупроводника. Његова комбинација термичких и механичких својстава графита са хемијском и термичком стабилношћу силицијум карбида чини га идеалним за ригорозне захтеве модерне производње полупроводника. Једноструки дизајн нуди прецизну контролу над процесом епитаксије, доприносећи производњи висококвалитетних полупроводничких уређаја. Овај пријемник обезбеђује да се плочицама рукује са највећом пажњом и прецизношћу, што резултира супериорним епитаксијалним слојевима и полупроводничким производима са бољим перформансама.