Сусцептор графитне цеви обложен СиЦ

Ако тражите графитни носач високих перформанси за употребу у апликацијама за производњу полупроводника, Семицорек СиЦ обложени графитни носач је идеалан избор. Његова изузетна топлотна проводљивост и својства дистрибуције топлоте чине га избором за поуздане и доследне перформансе у високотемпературним и корозивним срединама.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек СиЦ обложени графитни носач је савршен избор за апликације у производњи полупроводника које захтевају изузетну дистрибуцију топлоте и топлотну проводљивост. Његов СиЦ премаз високе чистоће и супериорна густина обезбеђују врхунску заштиту и својства расподеле топлоте, обезбеђујући поуздане и доследне перформансе чак и у најзахтевнијим окружењима.

Наш СиЦ обложен графитни носач је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.

Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем СиЦ обложеном графитном бачвастом сусцептору.

Параметри СиЦ обложеног графитног бачва

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ обложеног графитног бачва

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију високе температуре, отпорност на корозију.