Са својом високом тачком топљења, отпорношћу на оксидацију и отпорношћу на корозију, Семицорек СиЦ-цоатед Баррел Сусцептор за ЛПЕ Гровтх је савршен избор за употребу у апликацијама раста појединачних кристала. Његов премаз од силицијум карбида обезбеђује изузетну равност и својства расподеле топлоте, обезбеђујући поуздане и доследне перформансе чак иу најзахтевнијим окружењима са високим температурама.
Семицорек СиЦ-Цоатед Баррел Сусцептор за ЛПЕ Гровтх је врхунски графитни производ обложен СиЦ-ом високе чистоће, дизајниран посебно за ЛПЕ процесе и друге примене у производњи полупроводника. Његова изузетна густина и топлотна проводљивост обезбеђују врхунску дистрибуцију топлоте и заштиту у високим температурама и корозивним срединама.
У Семицорек-у, фокусирамо се на обезбеђивање висококвалитетног, исплативог СиЦ-обложеног бачва за раст ЛПЕ, дајемо приоритет задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.
Параметри бачвеног сусцептора обложеног СиЦ-ом за раст ЛПЕ
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД својства |
||
Кристална структура |
ФЦЦ И² фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величине зрна |
И¼м |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимације |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Иоунг'с Модулус |
Гпа (4пт савијање, 1300а) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике СиЦ-Цоатед Баррел Сусцептор за ЛПЕ раст
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.
- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.
- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.