Семицорек СиЦ обложени бачвасти сусцептор за ЛПЕ епитаксијални раст је производ високих перформанси дизајниран да обезбеди доследне и поуздане перформансе током дужег периода. Његов уједначен термички профил, ламинарни образац струјања гаса и спречавање контаминације чине га идеалним избором за раст висококвалитетних епитаксијалних слојева на чиповима плочица. Његова прилагодљивост и исплативост чине га високо конкурентним производом на тржишту.
Наш СиЦ обложени бачвасти пријемник за ЛПЕ епитаксијални раст је висококвалитетан и поуздан производ који пружа одличну вредност за новац. Његова отпорност на оксидацију при високим температурама, уједначен термички профил и спречавање контаминације чине га идеалним избором за раст висококвалитетних епитаксијалних слојева на чиповима вафер-а. Његови ниски захтеви за одржавање и прилагодљивост чине га високо конкурентним производом на тржишту.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем СиЦ обложеном бачвастом сусцептору за ЛПЕ епитаксијални раст.
Параметри бачвеног сусцептора обложеног СиЦ за епитаксијални раст ЛПЕ
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД својства |
||
Кристална структура |
ФЦЦ И² фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величине зрна |
И¼м |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Топлотни капацитет |
Ј·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублимације |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Иоунг'с Модулус |
Гпа (4пт савијање, 1300а) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике СиЦ обложеног бачвастог сусцептора за ЛПЕ епитаксијални раст
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.
- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.
- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.