СиЦ обложени бачвасти сусцептор за ЛПЕ епитаксијални раст

Семицорек СиЦ обложени бачвасти сусцептор за ЛПЕ епитаксијални раст је производ високих перформанси дизајниран да обезбеди доследне и поуздане перформансе током дужег периода. Његов уједначен термички профил, ламинарни образац струјања гаса и спречавање контаминације чине га идеалним избором за раст висококвалитетних епитаксијалних слојева на чиповима вафер-а. Његова прилагодљивост и исплативост чине га високо конкурентним производом на тржишту.

Пошаљи упит

Опис производа

Наш СиЦ обложени бачвасти пријемник за ЛПЕ епитаксијални раст је висококвалитетан и поуздан производ који пружа одличну вредност за новац. Његова отпорност на оксидацију при високим температурама, равномеран термички профил и спречавање контаминације чине га идеалним избором за раст висококвалитетних епитаксијалних слојева на чиповима вафер-а. Његови ниски захтеви за одржавање и прилагодљивост чине га високо конкурентним производом на тржишту.

Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем СиЦ обложеном бачвастом сусцептору за ЛПЕ епитаксијални раст.

Параметри бачвеног сусцептора обложеног СиЦ за епитаксијални раст ЛПЕ

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД особине
Цристал Струцтуре	ФЦЦ β фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величина зрна	μм	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Хеат Цапацити	Ј кг-1 К-1	640
Сублиматион Температуре	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Јангов модул	Гпа (4пт савијање, 1300℃)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ обложеног бачвастог сусцептора за ЛПЕ епитаксијални раст

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију високе температуре, отпорност на корозију.