Семицорек РТП носач је обложен силицијум карбидом коришћењем процеса хемијског таложења паре (ЦВД), који је заиста стабилан за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење. У сржи полупроводничког процеса, епитаксијски пријемници су прво подвргнути окружењу таложења, тако да има високу отпорност на топлоту и корозију. Носач обложен СиЦ такође има високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
● Графит обложен СиЦ-ом високе чистоће
● Врхунска отпорност на топлоту и хемијску отпорност
● Висока термичка униформност
● Одлична отпорност на хабање
Семицорек РТП носач за МОЦВД епитаксијални раст је идеалан за апликације обраде полупроводничких плочица, укључујући епитаксијални раст и обраду вафера. Угљични графитни пријемници и кварцни лончићи се обрађују од стране МОЦВД на површини графита, керамике итд. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит