СиЦ графитна РТП носећа плоча за МОЦВД

Семицорек СиЦ графитна РТП носећа плоча за МОЦВД нуди супериорну отпорност на топлоту и термичку униформност, што је чини савршеним решењем за апликације обраде полупроводничких плочица. Са висококвалитетним графитом обложеним СиЦ, овај производ је пројектован да издржи најтеже окружење таложења за епитаксијални раст. Висока топлотна проводљивост и одлична својства расподеле топлоте обезбеђују поуздане перформансе за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење.

Пошаљи упит

Опис производа

Наша СиЦ графитна РТП носећа плоча за МОЦВД за МОЦВД епитаксијални раст је савршено решење за руковање плочицама и обраду епитаксијалног раста. Са глатком површином и високом издржљивошћу на хемијско чишћење, овај производ обезбеђује поуздане перформансе у тешким условима таложења.
Материјал наше СиЦ графитне РТП носеће плоче за МОЦВД је пројектован да спречи пукотине и раслојавање, док супериорна отпорност на топлоту и термичка униформност обезбеђују доследне перформансе за РТА, РТП или грубо хемијско чишћење.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашој СиЦ графитној РТП носећој плочи за МОЦВД.

Параметри СиЦ Грапхите РТП носеће плоче за МОЦВД

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике СиЦ Грапхите РТП носеће плоче за МОЦВД

Графит високе чистоће обложен СиЦ
Врхунска отпорност на топлоту и термичка униформност
Фини СиЦ кристал обложен за глатку површину
Висока отпорност на хемијско чишћење
Материјал је дизајниран тако да не дође до пукотина и деламинације.