Хомоепитаксија и хетероепитаксија играју кључну улогу у науци о материјалима. Хомоепитаксија подразумева раст кристалног слоја на подлози од истог материјала, обезбеђујући минималне дефекте због савршеног подударања решетке. Насупрот томе, хетероепитаксија расте кристални слој на другом материјалном......
ОпширнијеДа би се постигли захтеви високог квалитета за процесе кола ИЦ чипа са ширинама линија мањим од 0,13 μм до 28 нм за силиконске полирне плочице пречника 300 мм, неопходно је минимизирати контаминацију нечистоћама, као што су метални јони, на површини плочице.
Опширније