Електростатичка глава преузима вишеструке функције као што су равномерно електростатичко пражњење, провођење топлоте и адсорпција и фиксација плочице у области производње полупроводника. Једна од основних функција ЕСЦ-а је да стабилно адсорбује плочице у екстремним радним условима као што су високи ......
ОпширнијеУ производњи плочица ултра-високе чистоће, плочице морају достићи стандард чистоће од преко 99,999999999% да би се осигурала основна својства полупроводника. Парадоксално, да би се постигла функционална конструкција интегрисаних кола, специфичне нечистоће се морају локално унети на површину плочица ......
ОпширнијеКерамичке вакуумске стезне главе су направљене од порозних керамичких материјала са уједначеном дистрибуцијом величине пора и унутрашњом међусобном везом. Након брушења, површина је глатка и деликатна са добром равношћу. Они се широко користе у производњи полупроводничких плочица као што су силицију......
ОпширнијеИзбор плочица има значајан утицај на развој и производњу полупроводничких уређаја. Избор плочице треба да буде вођен захтевима специфичних сценарија примене и треба га пажљиво проценити коришћењем следећих кључних метрика.
ОпширнијеОпрема за суво гравирање не користи влажне хемикалије за гравирање. Он првенствено уводи гасовито нагризање у комору кроз горњу електроду са ситним рупама. Електрично поље које стварају горња и доња електрода јонизује гасни нагризач, који затим реагује са материјалом који се нагриза на плочици, ства......
Опширније