Силиконске компоненте за суво нагризање

Опрема за суво гравирање не користи влажне хемикалије за гравирање. Он првенствено уводи гасовито нагризање у комору кроз горњу електроду са ситним рупама. Електрично поље које стварају горња и доња електрода јонизује гасни нагризач, који затим реагује са материјалом који се нагриза на плочици, стварајући испарљиве супстанце. Ове испарљиве супстанце се затим екстрахују из реакционе коморе, довршавајући процес нагризања.

Реакција сувог нагризања се одвија унутар процесне коморе, која се првенствено састоји одсиликонске компоненте, укључујући силиконски издувни прстен, силиконски спољни прстен, силиконску главу туша, силиконски фокусни прстен и силиконски штитни прстен.

У сувој комори за гравирање, силиконска плочица се обично поставља унутар силиконског фокусног прстена. Ова комбинација служи као позитивна електрода, постављена испод коморе за нагризање. Као негативна електрода служи силиконски диск са густо збијеним сићушним рупама, који се налази изнад коморе. Силиконски спољни прстен подржава горњу електроду и друге повезане компоненте. Горња и доња електрода су у директном контакту са плазмом. Како плазма угризе силицијумску плочицу, она такође истроши горњу и доњу силиконску електроду. Доња електрода (прстен за фокусирање) постепено се стањи током процеса гравирања, што захтева замену када дебљина достигне одређени ниво. Штавише, равномерно распоређене рупе у горњој електроди (глава туша) кородира плазма, узрокујући варијације у величини рупе. Када ове варијације достигну одређени ниво, потребно их је заменити. Обично је потребан циклус замене сваке 2-4 недеље употребе.

Овај одељак посебно објашњава улогу силиконског прстена за фокусирање (доња електрода). Он контролише дебљину плазма плашта, чиме се оптимизује униформност јонског бомбардовања. Плазма омотач, не-неутрални регион између плазме и зида крвних судова, је кључни и јединствени регион унутар плазме. Плазма се састоји од једнаког броја позитивних јона и електрона. Пошто електрони путују брже од јона, они први стигну до зида посуде. Плазма је позитивно наелектрисана у односу на зид суда. Електрично поље омотача убрзава јоне унутар плазме (позитивно-негативно привлачење), дајући им високу енергију. Овај високоенергетски ток јона омогућава премазивање, нагризање и распршивање.

Импеданса плочице утиче на дебљину плазма плашта (што је импеданса нижа, то је омотач дебљи). Импеданса у центру плочице је другачија од оне на ивици, што резултира неуједначеном дебљином пласма плазме на ивици. Овај неуједначен плазма омотач убрзава јоне, али такође одбија тачку јонског бомбардовања, смањујући прецизност нагризања. Због тога је потребан прстен за фокусирање да би се контролисала дебљина пласма плазме, чиме се оптимизује правац јонског бомбардовања и побољшава тачност јеткања.

Узимајући за пример фокусни прстен око плочице, док је кварц, са својом високом чистоћом, оптималан за постизање ниске контаминације металом, он брзо кородира у плазми гаса флуора, што резултира кратким животним веком. Ово не само да повећава трошкове већ и захтева застоје због замене, смањујући време рада опреме. Керамика, иако има довољно дуг животни век, изложена је високоенергетском јонском бомбардовању. Распршени алуминијум реагује са флуором у плазми и формира неиспарљиве флуориде (као што је алуминијум флуорид). Ако се они не могу уклонити и одложити на површину уређаја или фоторезист на ивици плочице, они ометају накнадно уклањање генерисаних флуорида и фоторезиста, утичући на принос производа. Погоднији материјали су монокристални силицијум или силицијум карбид. Међутим, монокристални силицијум је јефтин, али има кратак век трајања, док је силицијум карбид скупљи, али има нешто дужи животни век. Компромис између ове две опције зависи од конкретних околности. На пример, ако је искоришћеност опреме висока и време рада је критично, треба користити силицијум карбид. Ако трошкови хабања и хабања компоненте нису превисоки, треба користити монокристални силицијум.

Семицорек нуди висок квалитетСилицијумски делови. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом