Површинска обрада за врхунску електростатичку стезну главу

Тхеелектростатичка стезна главапреузима вишеструке функције као што су униформно електростатичко пражњење, проводљивост топлоте и адсорпција и фиксација плочице у области производње полупроводника. Једна од основних функција ЕСЦ-а је да стабилно адсорбује плочице у екстремним радним условима као што су високи вакуум, јака плазма и широк температурни опсег.

Оно што заиста одређује њихов учинак није спољашња структура или формула основног материјала, већ процес површинске обраде. Без професионалне површинске обраде, током рада ће се појавити следећи проблеми:

1. Плазма ерозија и контаминација металним јонима

Незаштићене керамичке површине су подложне ерозији плазме у поставкама процеса јеткања или ЦВД. Ова врста ерозије може директно довести до ослобађања металних јона или осипања керамичких честица, чиме се контаминира плочица.

2. Неуједначена топлотна проводљивост и деформација савијања

Грубе површине или лош третман доводе до неравномерног контакта између плочице и плочицеЕСЦ, омета проводљивост топлоте и утиче на униформност ЦД-а.

3. Нестабилна електростатичка адсорпција

Нетачна контрола перформанси површинске изолације или проводљивости електростатичке стезне главе може лако довести до недовољне силе адсорпције или прекомерне адсорпције, што на крају директно утиче на принос обраде плочица.

Површина врхунских ЕСЦ-а често усваја композитни вишеслојни дизајн структуре, прецизно регулишући функционална подручја кроз премазе како би се постигла истинска интеграција високих перформанси.

Уобичајене технологије површинске обраде врхунских ЕСЦ-ова:

1. Флуорополимерни нелепљиви премази (као што су ПТФЕ и ПФА)

Ова врста премаза је посебно прикладна за нискотемпературне процесне средине због ниске површинске слободне енергије, која ефикасно спречава адсорпцију остатака фоторезиста.

2. Превлаке од угљеника налик дијаманту (ДЛЦ).

Са високом тврдоћом, отпорношћу на плазму и ниским коефицијентом трења, погодни су за апликације против ерозије и одвајања честица у опреми за јеткање.

3. ПВД проводљиви керамички филмови (као што су ЦрСиН и ТиН)

Овај тип премаза може да изгради стабилну проводну путању у одређеној области и на тај начин ефикасно избегне проблем локалног акумулације наелектрисања прецизном контролом равномерног пражњења површинских наелектрисања.

4. Композитни топлотно проводљиви премази (као што је дијамантски прах и хибридни премаз флуорополимера)

Ова врста премаза комбинује нелепљиве квалитете са топлотном проводљивошћу, а његове укупне перформансе могу прецизно да одговарају захтевима примене високопрецизне термичке контроле ЕСЦ.