Монокристални силицијумски носач

Семицорек монокристални силицијумски носач је идеално решење за процесе епитаксије графита и руковања плочицама. Наш ултра-чисти производ обезбеђује минималну контаминацију и изузетне перформансе дугог века, што га чини популарним избором на многим европским и америчким тржиштима. Као водећи добављач носача полупроводничких плочица у Кини, радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер.

Пошаљи упит

Опис производа

Наш монокристални силицијумски епитаксијални сусцептор је графитни производ обложен СиЦ високе чистоће, који има високу отпорност на топлоту и корозију. ЦВД носач обложен силицијум карбидом се користи у процесима који формирају епитаксијални слој на полупроводничким плочицама. Има високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте, која су неопходна за ефикасне и прецизне производне процесе полупроводника.
Једна од кључних карактеристика нашег монокристалног силицијумског носача је његова одлична густина. И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високотемпературним и корозивним радним окружењима. Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине, што је неопходно за одржавање производње висококвалитетних плочица.
Још једна важна карактеристика нашег производа је његова способност да смањи разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида. Ово ефикасно побољшава снагу везивања, спречавајући пуцање и раслојавање. Поред тога, и графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства расподеле топлоте, обезбеђујући равномерну дистрибуцију топлоте током процеса производње.
Наш монокристални силицијумски носач је такође отпоран на оксидацију и корозију при високим температурама, што га чини поузданим и издржљивим производом. Његова висока тачка топљења осигурава да може издржати окружење високе температуре које је потребно за ефикасну производњу полупроводника.
У закључку, Семицорек монокристални силицијумски носач је ултра чисто, издржљиво и поуздано решење за процесе епитаксије графита и руковања плочицама. Његова одлична густина, равност површине и топлотна проводљивост чине га идеалним за употребу у високотемпературним и корозивним окружењима. Поносимо се што пружамо висококвалитетне производе по конкурентним ценама и радујемо се партнерству са вама за све ваше потребе за носачима полупроводничких плочица.

Параметри монокристалне силицијумске плочице сусцептора

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике монокристалне силицијумске плочице

- Избегавајте љуштење и обезбедите премаз на целој површини
Отпорност на оксидацију на високим температурама: стабилан на високим температурама до 1600°Ц
Висока чистоћа: направљено ЦВД хемијским таложењем паре под условима хлорисања на високој температури.
Отпорност на корозију: висока тврдоћа, густа површина и фине честице.
Отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
- Постигните најбољи ламинарни образац струјања гаса
- Гарантује равномерност термичког профила
- Спречите било какву контаминацију или дифузију нечистоћа