Монокристални силицијумски епитаксијални сусцептор

Савршен за графитну епитаксију и процес руковања плочицама, Семицорек ултра-чисти монокристални силицијум епитаксијални сусцептор обезбеђује минималну контаминацију и пружа изузетно дуг радни век. Наши производи имају добру предност у цени и покривају многа европска и америчка тржишта. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек монокристални силицијумски епитаксиални сусцептор је графитни производ обложен високо пречишћеним СиЦ, који има високу отпорност на топлоту и корозију. ЦВД носач обложен силицијум карбидом који се користи у процесима који формирају епитаксијални слој на полупроводничким плочицама, који има високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
Наш монокристални силицијумски епитаксијални сусцептор је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац струјања гаса, обезбеђујући равномерност топлотног профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем монокристалном силицијумском епитаксијалном сусцептору.

Параметри монокристалног силицијумског епитаксијалног сусцептора

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике монокристалног силицијумског епитаксијалног сусцептора

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.
- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.
- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.