Систем реактора течне фазе за епитаксију (ЛПЕ).

Семицорек реакторски систем течне фазе (ЛПЕ) је иновативан производ који нуди одличне термичке перформансе, уједначен термички профил и врхунску адхезију премаза. Његова висока чистоћа, отпорност на оксидацију при високим температурама и отпорност на корозију чине га идеалним избором за употребу у индустрији полупроводника. Његове прилагодљиве опције и исплативост чине га високо конкурентним производом на тржишту.

Пошаљи упит

Опис производа

Наш реакторски систем течне фазе (ЛПЕ) је веома поуздан и издржљив производ који пружа одличну вредност за новац. Његова отпорност на оксидацију при високим температурама, уједначен термички профил и спречавање контаминације чине га идеалним за висококвалитетан раст епитаксијалног слоја. Његови ниски захтеви за одржавање и прилагодљивост чине га високо конкурентним производом на тржишту.

У Семицорек-у се фокусирамо на пружање висококвалитетних, исплативих производа нашим купцима. Наш систем реактора течне фазе (ЛПЕ) има предност у цени и извози се на многа европска и америчка тржишта. Циљ нам је да будемо ваш дугорочни партнер, испоручујући производе доследног квалитета и изузетну услугу за кориснике.

Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем систему реактора течне фазе (ЛПЕ).

Параметри реакторског система течне фазе (ЛПЕ).

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике реакторског система течне фазе (ЛПЕ).

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.