Сусцептор бачве обложен СиЦ-ом на високим температурама

Када је у питању производња полупроводника, Семицорек високотемпературни СиЦ-обложени бачвасти сусцептор је најбољи избор за врхунске перформансе и поузданост. Његов висококвалитетни СиЦ премаз и изузетна топлотна проводљивост чине га идеалним за употребу чак и у најзахтевнијим окружењима високе температуре и корозије.

Пошаљи упит

Опис производа

Семицорек високотемпературни СиЦ-обложени бурел Сусцептор је савршен избор за раст монокристала и друге примене у производњи полупроводника које захтевају високу отпорност на топлоту и корозију. Његов премаз од силицијум карбида пружа врхунску заштиту и својства расподеле топлоте, обезбеђујући поуздане и доследне перформансе чак и у најзахтевнијим окружењима.

У Семицорек-у се фокусирамо на обезбеђивање висококвалитетног, исплативог, високотемпературног СиЦ обложеног бачвастог носача, дајемо приоритет задовољству купаца и пружамо исплатива решења. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер, испоручујући производе високог квалитета и изузетну услугу за кориснике.

Параметри високотемпературног СиЦ обложеног бачвастог сусцептора

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике високотемпературног СиЦ-превученог бачвастог сусцептора

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.