Са својом одличном густином и топлотном проводљивошћу, Семицорек Дурабле СиЦ-Цоатед Баррел Сусцептор је идеалан избор за употребу у епитаксијалним процесима и другим апликацијама у производњи полупроводника. Његов СиЦ премаз високе чистоће пружа врхунску заштиту и својства расподеле топлоте, што га чини избором за поуздане и доследне резултате.
Ако вам је потребан висококвалитетни графитни носач са врхунском отпорношћу на топлоту и корозију, не тражите даље од Семицорек Дурабле СиЦ-цоатед бурел Сусцептор. Његов премаз од силицијум карбида обезбеђује изузетну топлотну проводљивост и дистрибуцију топлоте, обезбеђујући поуздане и доследне перформансе чак и у најзахтевнијим окружењима са високим температурама.
Наш издржљиви СиЦ-обложени бачвасти сусцептор је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност топлотног профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.
Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем Издржљивом СиЦ-обложеном бачвастом сусцептору.
Параметри издржљивог бачва обложеног СиЦ-ом
Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза |
||
СиЦ-ЦВД особине |
||
Цристал Струцтуре |
ФЦЦ β фаза |
|
Густина |
г/цм ³ |
3.21 |
Тврдоћа |
Викерсова тврдоћа |
2500 |
Величина зрна |
μм |
2~10 |
Хемијска чистоћа |
% |
99.99995 |
Хеат Цапацити |
Ј кг-1 К-1 |
640 |
Сублиматион Температуре |
℃ |
2700 |
Фелекурал Стренгтх |
МПа (РТ 4 тачке) |
415 |
Јангов модул |
Гпа (4пт савијање, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (Ц.Т.Е) |
10-6К-1 |
4.5 |
Топлотна проводљивост |
(В/мК) |
300 |
Карактеристике Издржљивог СиЦ-обложеног бачвастог сусцептора
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.
- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.
- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.
- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.
- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију високе температуре, отпорност на корозију.