Издржљив СиЦ-обложени бачвасти пријемник за ЛПЕ

Са својом одличном густином и топлотном проводљивошћу, Семицорек Дурабле СиЦ-Цоатед Баррел Сусцептор за ЛПЕ је идеалан избор за употребу у ЛПЕ процесима и другим апликацијама у производњи полупроводника. Његов СиЦ премаз високе чистоће пружа врхунску заштиту и својства расподеле топлоте, што га чини избором за поуздане и доследне резултате.

Пошаљи упит

Опис производа

Ако вам је потребан висококвалитетни графитни носач са врхунском отпорношћу на топлоту и корозију, не тражите даље од Семицорек Дурабле СиЦ-цоатед Баррел Сусцептор за ЛПЕ. Његов премаз од силицијум карбида обезбеђује изузетну топлотну проводљивост и дистрибуцију топлоте, обезбеђујући поуздане и доследне перформансе чак и у најзахтевнијим окружењима са високим температурама.

Наш издржљиви СиЦ-обложени бурел сусцептор за ЛПЕ је дизајниран да постигне најбољи ламинарни образац протока гаса, обезбеђујући равномерност термичког профила. Ово помаже у спречавању било какве контаминације или дифузије нечистоћа, обезбеђујући висококвалитетан епитаксијални раст на чипу плочице.

Контактирајте нас данас да бисте сазнали више о нашем издржљивом цевоводу обложеном СиЦ-ом за ЛПЕ.

Параметри издржљивог СиЦ-пресвученог бачвастог сусцептора за ЛПЕ

Главне спецификације ЦВД-СИЦ премаза
СиЦ-ЦВД својства
Кристална структура	ФЦЦ И² фаза
Густина	г/цм ³	3.21
Тврдоћа	Викерсова тврдоћа	2500
Величине зрна	И¼м	2~10
Хемијска чистоћа	%	99.99995
Топлотни капацитет	Ј·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимације	℃	2700
Фелекурал Стренгтх	МПа (РТ 4 тачке)	415
Иоунг'с Модулус	Гпа (4пт савијање, 1300а)	430
Термичка експанзија (Ц.Т.Е)	10-6К-1	4.5
Топлотна проводљивост	(В/мК)	300

Карактеристике издржљивог СиЦ-пресвученог бачвастог сусцептора за ЛПЕ

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају добру густину и могу играти добру заштитну улогу у високим температурама и корозивним радним окружењима.

- Сусцептор обложен силицијум карбидом који се користи за раст монокристала има веома високу равност површине.

- Смањите разлику у коефицијенту топлотног ширења између графитне подлоге и слоја силицијум карбида, ефикасно побољшајте снагу везивања како бисте спречили пуцање и раслојавање.

- И графитна подлога и слој силицијум карбида имају високу топлотну проводљивост и одлична својства дистрибуције топлоте.

- Висока тачка топљења, отпорност на оксидацију на високим температурама, отпорност на корозију.