Стезне главе од силицијум карбида

Семицорекстезне главе од силицијум карбидасу функционални уређаји за адсорпцију направљени одсилицијум карбидаПренос и обрада плочице: У процесима као што су фотолитографија и јеткање, плочица мора бити стабилно адсорбована у вакуумском окружењу да би се избегле грешке померања.

СиЦ керамички материјал има високу температурну отпорност и одржава своју структурну стабилност у окружењима са високим температурама. Његова одлична топлотна проводљивост омогућава брзо расипање топлоте која се ствара током адсорпције, спречавајући прегревање радног предмета. Изузетна тврдоћа материјала чини га погодним за хватање грубих или тврдих радних предмета. Поред тога, хемијска инертност СиЦ керамичког материјала чини га отпорним на корозију јаким киселинама, јаким алкалијама и органским растварачима. Ниске перформансе преципитације нечистоћа овог материјала избегавају контаминацију нечистоћама и продужавају нормално време рада опреме, испуњавајући захтеве ултра-чисте индустрије полупроводника.

Типичне карактеристике Семицорек стезне главе од силицијум карбида

1. Висока прецизност: равност је 0,3-0,5 μм.

2. Миррор полирање

3. Ултра-лагана тежина

4.Висока крутост

5. Низак коефицијент топлотног ширења

6. Одлична отпорност на хабање

Сценарији примене стезних глава од силицијум карбида

Производња полупроводника

Пренос и обрада плочице: У процесима као што су фотолитографија и јеткање, плочица мора бити стабилно адсорбована у вакуумском окружењу да би се избегле грешке померања.

Отпорност на корозију плазме: У процесу јеткања полупроводника, одлична отпорност на корозију може продужити век трајања производа.

Производња фотонапонских ћелија

Резање силиконских плочица: Адсорбује силиконске плочице да би се одупрло вибрацијама резања и смањило брзину фрагментације силицијумских плочица.

Производња прецизне оптике и електронике

Обрада сафирних супстрата: Сафирне подлоге које се користе у производњи ЛЕД чипова захтевају вакуумску адсорпцију. Сила адсорпције мора да превазиђе тежину подлоге и избегне гребање површине производа.

(СиЦ) керамички материјал. Углавном се користе у полупроводницима, фотонапону, прецизној производњи и другим сценаријима који имају изузетно високе захтеве за отпорност на високе температуре, отпорност на хабање, отпорност на хемијску корозију и чистоћу материјала.