АЛ2О3 вакуумски Цхуцкс

Семицорек АЛ³о₃ вакуумски стејми су прецизни микропорозна керамичка компонента развијена за руковање, фиксацију и обраду причвршћивања у полуводичкој индустрији. Направљен од црне глинице са контролисаном порозношћу од 35% -40%, то је изузетно стабилан, чист и поуздан медијум за процесе вакуумског адсорпције. Цхуцк комбинује керамичку обраду подлоге на функционалну површину користећи напредне технике производње да би се пружила доследне перформансе усисавања за крхку осовину корисника током корака критичних процеса.

ЦрнАлумина (АЛ₂О₃); Има јединствени баланс механичке чврстоће, тврдоће и хемијске отпорности у поређењу са металима и полимерима. Микропорозна структура је оптимизована за контролисану порозност да пружи конзистентну дистрибуцију вакуума преко површине вакуумског Цхуцка. Доследна дистрибуција вакуумског дистрибуције током целокупне површине пахуља од марама минимизира локализоване концентрације стреса, ограничавајући ризик од изобличења ивице ивице и руба и рупа. Како се производња од листа и даље скалира пречника, а геометрије и уређаји постају крхкији, пренос процеса и побољшани поузданост руковања вафром постају критични захтеви.

Контролисана порозност од 35-40% представља кључна карактеристика овог вакуумског Цхуцка. Оптимизована мрежа пора може се смањити турбуленција током евакуације ваздуха из подручја пора и одржати контролу држача док чува механичку чврстоћу и издржљивост. Супротно томе, механичке стезаљке користе плоче које узрокују локализоване тачке стреса и рад против механичких својстава појединачних резина. Микропорозна површина глинице је, дакле, супериорна у држању вафла равних и нескладности током механичких приступа. То чини савршеним кандидатом за високотехнолошко полуводичко процесе који имају користи од рефлекције и глатког задржавања, укључујући литографију, јеткање, таложење и метрологију.

Из топлотне перспективе, Црни Алумина материјал има одличну ову могућност одржавања димензијске стабилности током повишене температуре. Са ниским коефицијентом топлотне експанзије, вакуумски цхуцк може да остане тачан чак и током циклуса грејања и хлађења, што је критични аспект због брзог флуктуације температуре често се појављује у окружењу за прераду важења. Тврдоћа и отпорност на хабање овог керамика такође повећавају дуготрајност Цхуцка, смањујући учесталост одржавања оператора опреме и смањење укупних трошкова власништва.

Хемијска инертност Алумина керамике је још једна значајна својина. У полуводичким фабрикама, компоненте опреме треба да толеришу агресивне хемикалије, средства за чишћење или у плазми окружења без пропадања. Црна Алумина има одлична својства за одупирање корозијом, оксидацијом и / или површинским контаминацијом, а на тај начин задржава структуру и структуралну / фазу стабилност током узбуђених периода оперативног циклуса. Ова некретнина на месту такође значи да вафли нису подвргнути контаминацији који штити круг од начина на који начин се раде они уређаји, а такође верују протоколима чистоћних соба.

Не само да је АЛ³о₃ вакуумски Цхуцкс показују одличне функционалне перформансе, површинска завршница је такође чврсто контролисана. Завршетак се креира коришћењем висококвалитетних обраде и поступка полирања који дају уједначеност равномерности и глаткоће како би се деликатни трули могли држати без огреботина или оштећења површине. Високограђена порозност материјала даје погодну равнотежу између усисавања и заштите површине, омогућавајући адекватно држање на лицу, уз избегавање оштећења на танким, ломљивим подлозима.

Са оперативног становишта, вакуумски пахуљи АЛ₂О₃ су критична компонента у савременој производњи полуводича. Олакшава аутоматизацију, омогућавајући да се вафла покупе, поравнају, поравнају и прерађују, поуздано задовољавају захтеве процеса. Црна боја Алумина такође помаже и пружа прагматичне предности смањењем размишљања светлости током оптичких инспекција и процеса мерења, посебно где се користи оптичка опрема високо прецизности.

Комбиновање напредне керамичке технологије са добро разматраним дизајном је дала, у вакуумским стезама АЛ³оу, дуготрајно, високо-перформанси решење за полуводичке произвођаче за руковање изазовима. АЛЗОИ вакуумски Цхуцкс побољшава продуктивност кроз смањење губитка од рефлектора, смањује време застоја због трајности и повећава стабилност процеса пружајући конзистентне вакуумске снаге.

Семицорек ал₂о₃ вакуумски сисе направљени од микропоровог црногАлуминаје више од само учвршћења; То је критичан омогућавање прецизности производње полуводича. Својом оптимизованом порозном, изузетном својствима материјала и робусним перформансама, осигурава поуздано руковање важењем преко најзахтевнијих процеса израде. За произвођаче који желе да постигну већи принос, побољшану ефикасност процеса и врхунске перформансе опреме, црни усисава цхуцк белкумира је неопходан избор.