Сиц рука

Семицорек Сиц АРМ је специјализовани уређај који је развијен да се бави вафловима са максималном поузданошћу и прецизношћу. Ваффер Трансфер Армс, попут СИЦ-а појављују се у напредној полуводичкој опреми за производњу полуводича, ионски реактори, ионски имплантацијски системи, термичка прерада итд. Преношење оружја итд. Напређене су на сложеном кретању вафла у оквиру сложених фризура на сложеном резиструјућим окружењима за решавање вафла. Изграђен коришћењем велике чистоћесилицијум карбиду комбинацији са својствима сировина 

Изузетна топлотна и хемијска стабилност и одлична контрола обраде, чине СИЦ на повереним решењем за будућу производњу полуводича.

Сиц рука има своје изузетне перформансе у екстремним термичким окружењима. У епитаксијалном расту, као и другим процесима високих температура, компоненте за руковање вафлом могу се подвргнути трајној топлоти која се лако погоршава уобичајеним карактеристикама материјала. Силиконски карбид задржава и чврстоћу и димензионалну тачност (коначне димензионалне толеранције) на високим температурама, што обезбеђује да вафли могу остати прецизно сједећи током преноса или прераде и практично елиминисани немилацију, а практично елиминишу немисалинг, ратоме или контаминацију. Керамика са изузетним перформансама СИЦ производа; Као да се се рукавица не оксидира, искривљава као метал, нити имају карактеристике перформанси несебица попут керамике, који су пукотине стреса.

Хемијска отпорност је још једна дефинисана имовина СИЦ руке. У полуводичким окружењима, корозивни гасови, реактивне хемикалије и експозиција у плазми су уобичајени. Руковање о руковању који се погоршава под таквим условима не само да ризикује механички квар, већ и загађење вафла.Силицијум карбидОмогућава хемијски инертну површину која избија ове агресивне услове. Резултат је веома поуздана компонента која одржава површински интегритет и чистоћу, заштите вафла од нечистоћа које могу угрозити перформансе уређаја. Ова издржљивост значајно смањује време застоја опреме, смањује фреквенцију замене и повећава усклађеност процеса.

Поред своје материјалне отпорности, СИЦ рука такође испуњава висок степен прецизности обраде. Руковање вафром захтева тачност микрометра; Толеранције које су чак и мало изван спецификације могу изазвати промене геометрије или површинске завршне обраде које могу проузроковати веће ризике у пробијању вафла или неусклађености. Коришћењем савремених производних технологија, рукови се производе са правилним толеранцијама, равном нивоом и глатким површинама. Бити висока прецизна апликација идеална је за осигурање доследног позиционирања вафла и поновљивих перформанси током хиљада руковања циклусима, што је идеално за производњу полуводича високе количине која има захтевне спецификације.

Свестраност је још једна предност сичког оружја. Различити полуводички алати и процеси захтевају оружје различитих геометрија, величина и дизајна. Пошто се СИЦ оружје могу модификовати да би укључивало ове специфичне карактеристике дизајна, могу се лако уклопити у широк спектар система, било да је то алат за епитакцију, комад ионске имплантацијске опреме или термички реактор. Површинске обраде, структурни дизајн и завршници такође се могу модификовати и пројектовати да би пружили најбоље перформансе у погледу одређене апликације.

СИЦ оружје такође има оперативну ефикасност. СИЦ-ова велика издржљивост и поузданост средње замјене су ретки и смањење застоја је минимизиран; И значи ниже дугорочне трошкове одржавања. За производњу полуводича, то значи да реализујући бољу пропусност, потенцијал за већу стабилност у производњи и виши приноси уређаја.

Сиц Армс су видели широку употребу од њиховог увођења у полуводичку заједницу посебно у системима преноса вафла у којима морају да издрже и механичке напоне и врло ригорозне услове обраде. Будите и то премештали каишеве до епитактних реактора, држећи их на мјесту током јонске имплантације или их преносе кроз гас или термичко обраду окружења, СИЦ рука пружа сигурну, прецизну и контаминацију руковање вафлом. Поузданост је очигледна увођењем сичког оружја у портфељ савремене полуводичке опреме.

Семицорек Сиц Арм је успешна комбинација пожељних својстава напреднихСИЛИЦОН ЦАРБИДЕ МАТЕРИЈАЛ, прецизни инжењеринг и стабилност високог температура. Комбинација хемијске стабилности, могућност израде и прецизне израде чини да је СИЦ рука погодна за пружање поузданог руковања резином у најтежим поступцима полу-проводника. СИЦ рука је прилагодљива и издржљив за предности потрошње крајњег корисника за руковање вафлом који помажу и нуде користи у дугорочним оперативним перформансама у погледу ефикасности, приноса и стабилности процеса. Произвођачи који траже модерне и врхунске системе решења за решавање или чак ван оквира решења за руковање и ослањају се на СИЦ на руку као доказани, високи извор и способни систем преноса и управљања преношењем и руковање за напредне захтеве полуводичке индустрије.