Алумина Керамичка рука

Семицорек Алумина Керамичка рука је пројектована компонента која се развија на највише спецификације за апликације полуводича. Направљен од Алумина високе чистоће (АЛ³О₃), то је роботска рука која има јединствену комбинацију механичке чврстоће, топлотне стабилности и хемијске отпорности. Рука се не само дизајнира само да се користи за решавање решења само, али такође треба да обезбеди подршку за процес у напредним локацијама за израду израде. Такође мора да осигура да се вафли преносе, позиционирају и обрађују без контаминације или оштећења; Побољшање приноса и поузданост процеса.

Алуминаје једна од техничке керамике која налази најширију употребу на техничком керамичком пољу. Алумина је позната по тврдоћи, отпорност на хабање и стабилност у агресивним окружењима. За циљеве керамичке руке за управљање резовинским руковањем без увођења контаминације, може да искористи својства глинице и испоручи много виши ниво отпорности на абразију као последицу његове високе чистоће и величине честица; Стога то неће генерирати прекомерне честице током његових поновљених покрета, ни са вафловима или са подлозима полуводича било које друге врсте.  Густина и ниска порозност да такође домаћин да даље ограничи потенцијал честица који се ослобађа и осигурава да испуни ултра-чисте захтеве за развоју полуводича без умарања од чистоће потребне за руковање уређајем за подмикло.

АлуминаПоседује изузетну топлотну стабилност поред своје механичке снаге. Алумина керамичка рука може да издржи екстремне температуре процеса без изостављања, пуцања или губитка снаге. Ова некретнина то чини идеалним за укључивање у било који корак процеса који укључује изложеност повишеним температурама, попут дифузије, оксидације или преноса. Вафери ће побољшати поузданост за пренос у изазовној животној средини јер задржава механичку интегритет под термичком бициклом.

Хемијска отпорност је још једно основно позитивно на керамичкој руци Алумина. У производњи полуводича, третмани се често изводе на вафловима који укључују јаке киселине, алкалије и друге агресивне хемикалије. Док металне компоненте могу коритирати или читање нечистоће, Алумина је хемијски инертна, што штити интегритет и руке и трунке које рукује. Стога инертност продужава животни век компоненте док смањује могућност контаминације током корака критичног процеса попут влажног чишћења или хемијских таложења паре.

Алумина керамичка рука дизајнирана је са фокусом на компатибилност и прецизност. Свака рука је направљена у уска димензионалне толеранције, осигуравајући прецизно подешавање и кретање и компатибилност са аутоматизованим опремом за руковање вафром и роботским системима. Глатка, полирана површинска завршна обрада садржи ниско тренирање са решетком који смањује шансу да се огребају вафли, што је од суштинског значаја за резање и смањење стопе заштите животне средине. Ове конструишене толеранције осигуравају да рука слободно функционише у брзој околишној околици и омогућава и људским и потпуно аутоматизованим полуводичким токовима за руку.

Алумина керамичка рука достиже само хемијске и механичке перформансе и утиче на ефикасност рада и уштеде трошкова на више нивоа. Доказана издржљива природа керамике омогућава да се рука надмаше композитне материјале попут пластике или алуминијума у ​​погледу дизајнерског дуговечности под поновним механичким оптерећењем и стога смањује количину оперативног прекида рада и / или трошкова за замену. Способност да издржава оштре окружења укључује чистоћу животне средине, а истовремено производе и мање производње који воде до побољшане конзистентне производње резина, тј. Принос и на крају мање отпад који је довело до веће РОИ (повратак на инвестиције) за произвођаче полуводича.

Опције за употребуАлумина КерамикаРука за полуводичке процесе су практично бескрајне - од померања вафла између влажних клупа, дифузијских пећи и депозитних комора на инспекцију и метролошке алате који користе подлоге које користе подлоге. Свестраност овог производа не само да се омогућава да се користи за апликације за решавање рефлације, али је потребна додатна ситуација аутоматизације у којима је потребна тачност, чистоћа и поузданост су такође изводљиви. Индустрија полуводича се неумољиво помера према мањим чворовима и повећаној сложености у оквиру израде уређаја и док индустрија и даље захтева бољу решење које су поуздане и не-контаминирајуће, керамичка роботска рука напред.