Полупроводничка кварцна звонаста тегла

Семицорек Семицондуцтор Куартз Белл Јар се обично производи од синтетичког топљеног кварца, материјала познатог по својој изузетној чистоћи, отпорности на високе температуре и ниским својствима термичког ширења. Ово осигурава да комора не уноси загађиваче или нечистоће у процес производње полупроводника.

Полупроводничка кварцна посуда је типично цилиндрична или у облику куполе, са равном или благо закривљеном базом за смештај полупроводничких плочица или подлога. Одликује се прецизно пројектованим, херметички затвореним механизмом за заптивање, као што је прирубница или О-прстен, за одржавање вакуума или контролисане атмосфере унутар коморе током обраде.

Полупроводничка кварцна посуда за звоно нуди одличну оптичку јасноћу, омогућавајући оператерима да визуелно прате процесе унутар коморе без угрожавања тачности или увођења сметњи. Кварц је веома отпоран на хемијске нападе већине киселина, база и растварача који се обично користе у процесима производње полупроводника. Ово обезбеђује интегритет коморе и спречава контаминацију подлоге.

Кварц има високу тачку топљења и термичку стабилност, што омогућава полупроводничком кварцном звону да издржи повишене температуре на које се сусрећу током процеса таложења или жарења без деформације или деградације.

Пријаве:

Таложење: Полупроводничке кварцне стакленке се користе у различитим техникама таложења као што су хемијско таложење паром (ЦВД), физичко таложење паре (ПВД) и таложење атомским слојем (АЛД) за таложење танких филмова материјала на полупроводничке подлоге са прецизношћу и униформношћу.

Јеткање: Користе се у процесима јеткања плазмом за селективно уклањање материјала из полупроводничких плочица, стварајући замршене шаре и структуре са високом прецизношћу и поновљивошћу.

Жарење: Звонасте посуде се користе у процесима жарења да би се полупроводничке плочице подвргле контролисаној термичкој обради, олакшавајући кристализацију, активацију допанта и ублажавање напрезања у депонованим филмовима.