15" кварцна звонаста тегла

Семицорек 15" Куартз Белл тегла је пројектована да одговори на ове изазове, пружајући решење високих перформанси за серијску обраду средњег и великог обима где су термичка униформност и чистоћа материјала од суштинског значаја за максимизирање приноса. У индустрији полупроводника и танкослојне индустрије, интегритет процесне коморе је од највеће важности. а хемијски инертна средина постаје непреговорна.

1. Наука о материјалима: Чистоћа фузионисаног силицијум-диоксида

Основа наше тегле за звонце је високе чистоћетопљени силицијум диоксид (кварц). За разлику од стандардног стакла, кварц се скоро у потпуности састоји од СиО2, пружајући јединствена својства која су од виталног значаја за производњу полупроводника:

Ултра-ниска контаминација: Наш кварц се обрађује како би се минимизирали метални елементи у траговима (као што су Ал, Фе, На и К) на ниво делова по милијарди (ппб). Ово спречава дифузију нечистоћа у плочицу током циклуса високе температуре, обезбеђујући електрични интегритет уређаја.

Супериорна отпорност на топлотни удар: Кварц поседује коефицијент термичке експанзије (ЦТЕ) скоро нула. Ово омогућава кварцној посуди од 15" да издржи брзо повећање температуре и гашење без ризика од лома или структуралног замора — што је критичан захтев за реакторе високог протока.

Одлична хемијска инертност: Кварц је веома отпоран на већину киселина (са изузетком флуороводоничне киселине) и корозивних процесних гасова, обезбеђујући да се комора не деградира или гаси током агресивних циклуса јеткања или таложења.

2. Прецизно инжењерство и оптичка јасноћа

Тегла са кварцним звоном од 15" обезбеђује максималну запремину и оптималну динамику протока гаса у сврху серијске обраде вафла. Тегла има вертикални димњак (такође познат као врат) који је оптимално дизајниран да обезбеди улаз за гас или помаже у екстракцији гаса кроз вакуум из посуде, што је приказано на слици изнад.

Оптичка транспарентност - Висок ниво преносакварцни материјалда емитује таласне дужине у ултраљубичастим, видљивим и инфрацрвеним областима спектра омогућава обраду у реалном времену, као и употребу спољних грејача лампе за брзу термичку обраду (РТП).

Ојачане заптивне површине – Врат посуде има специјално развијен непрозирни бели заптивач (који се назива и спој за уземљење) који обезбеђује херметички (ваздушно запечаћен) и вакуум непропусни интерфејс између основне плоче реактора и посуде.

Жарење за ублажавање стреса - Све тегле од 15" од кварцног звона пролазе кроз ригорозни процес термичког жарења како би се ублажио унутрашњи механички стрес који је стављен на теглу механичким процесом дувања или обликовања тегле, чиме се значајно смањује могућност да стакленка спонтано пропадне када се стави под вакуумско оптерећење.

3. Критичне примене у фабрици полупроводника

Наша кварцна посуда за звоно од 15" је посебно дизајнирана за интеграцију у следеће процесе високе вредности:

Силицијумска епитаксија: Обезбеђује провидну, нереактивну посуду за узгој висококвалитетних монокристалних силицијумских слојева.

Пласма Енханцед ЦВД (ПЕЦВД): Издржавање корозивне плазме окружења уз одржавање високе диелектричне чврстоће.

Дифузија и оксидација: Служи као чиста комора високе топлоте за формирање оксида капије и убацивања допанта.

Производња преформа оптичких влакана: Идеално за наношење слојева силицијум диоксида високе чистоће у производњи специјалног стакла.

У Семицорек-у, ми рукујемо сваком посудом за звонце као делом прецизне лабораторијске опреме. Наш процес укључује: Строги извор материјала са верификованим електронским системомкварцинготи; напредна производња која спаја традиционалне вештине дувања стакла са ЦНЦ контролисаним брушењем и полирањем; и темељну инспекцију коришћењем поларизоване светлости за детекцију заосталог напрезања и ласерску интерферометрију за прецизне провере димензија.