Структура електростатичке стезне главе (ЕСЦ)

АнЕлектростатичка стезна глава (ЕСЦ)је уређај који се користи за држање полупроводничких плочица на месту током процеса као што су нагризање, таложење или полирање. Ради тако што ствара електростатичко поље да привуче и безбедно држи плочицу на површини стезне главе, обезбеђујући стабилност и прецизно поравнање током руковања плочицом. ЕСЦ се широко користе у производњи полупроводника како би се побољшала тачност процеса и ефикасност руковања плочицама.

Стварна слика конвенционалногелектростатичка стезна глава (ЕСЦ)је приказано на слици. Примарна разлика између модела лежи у материјалу изолационог слоја на површини електростатичке стезне главе. На слици тамна боја представља алуминијум нитрид, док бела боја представља алуминијум оксид. Структураелектростатичка стезна главасастоји се од неколико делова:

1. **Изолациони слој**: Овај слој је у контакту са плочицом, обично направљеном од алуминијум нитрида или алуминијум оксидне керамике због њихове одличне механичке чврстоће, отпорности на високе температуре и добре топлотне проводљивости.

2. **Иглица за избацивање и отвор за гас**: Игла за избацивање је дизајнирана да преноси плочицу. Када плочица уђе у комору за гравирање, игла за избацивање се подиже да би је подржала, а затим се спушта да би поставила плочицу на површину електростатичке стезне главе. Игла за избацивање обично има шупљу структуру, омогућавајући увођење гаса хелијума како би се охладила плочица.

3. **Канал повратног тока**: Ова компонента побољшава дисипацију топлоте и олакшава адсорпцију плочице.

4. **Електростатичка електрода**: Ова електрода генерише електрично поље које ствара електростатичку силу неопходну за држање плочице на месту. Обично је електрода равна и или је уграђена у изолациони материјал или нанесена на изолациони материјал. Обично коришћени проводни материјали укључују алуминијум, бакар и волфрам.

5. **Циркулишућа расхладна вода и грејна електрода**: Ови елементи су првенствено одговорни за општу контролу температуре електростатичке стезне главе. Грејна електрода и циркулишућа расхладна вода раде у тандему како би одржали стабилну температуру плочице. Ослањање искључиво на циркулишућу расхладну воду може довести до немогућности управљања топлотом која се ствара током процеса нагризања, потенцијално угрожавајући стабилност процеса.  

Семицорек нуди висок квалитетЕлектростатичка стезна глава (ЕСЦ). Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом