Шта је нискотемпературно нагризање плазме?

Плазма је четврто стање материје и игра кључну улогу и у индустријским применама и у природним феноменима. На пример, плазма је присутна у муњама и генерише се у изобиљу на површини сунца, где температура језгра достиже невероватних 13.500°Ц. Ова високотемпературна плазма није погодна за већину процеса индустријске производње.

С друге стране, нискотемпературна плазма је вештачки створен облик плазме који користи енергију, а не топлоту, да убрза хемијске реакције. Његова температура се обично креће од собне температуре до неколико стотина степени Целзијуса, што га чини веома ефикасним за различите примене.

Кораци за генерисање вештачке плазме:

1. Смањите притисак у комори: Почните коришћењем вакуум пумпе да смањите притисак у шупљини. Постизање ниског притиска је неопходно за стабилизацију плазме и олакшавање јонизације гаса.

2. Увести процесни гас: Убризгати специфичне процесне гасове у шупљину. Ови гасови служе као примарни извор честица у плазми.

3. Побудите плазму: примените снагу да јонизујете гас, ефикасно формирајући плазму.

4. Деактивирајте плазму и вратите атмосферски притисак: Када се жељене реакције заврше, искључите плазму и вратите комору на атмосферски притисак.

Примене нискотемпературне плазме у производњи полупроводника:

Плазма ниске температуре је неопходна у производњи полупроводника, служећи критичним функцијама у сувом нагризању, физичком таложењу паре (ПВД), хемијском таложењу паре (ЦВД), таложењу атомског слоја (АЛД), имплантацији јона, пепелу и детекцији крајњих тачака. Његова свестраност и ефикасност чине га основним алатом у индустрији.

Семицорек нудивисококвалитетна решења за плазма нагризање. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом