ТаЦ премаз ЦВД методом

Тантал карбидни премаз је важан високо-чврст, отпоран на корозију и хемијски стабилан високотемпературни структурни материјал са тачком топљења до 4273 °Ц, једно од неколико једињења са највећом температурном отпорношћу. Има одличне механичке особине при високим температурама, отпорност на брзо струјање ваздуха, отпорност на аблацију и добру хемијску и механичку компатибилност са графитом и композитима угљеник/угљеник. Стога, у епитаксијалном процесу ГаН ЛЕД и СиЦ енергетских уређаја као што је МОЦВД, ТаЦ премаз има одличну киселину и алкалну отпорност на Х2, ХЦл, НХ3, што може у потпуности заштитити материјал графитне подлоге и прочистити окружење за раст.

ТаЦ премаз остаје стабилан на температурама изнад 2000 °Ц, док СиЦ премаз почиње да се распада на 1200-1400 °Ц, што ће такође значајно побољшати интегритет графитне подлоге. Превлаке од тантал карбида се тренутно припремају на графитним подлогама углавном помоћу ЦВД-а, а производни капацитет ТаЦ премаза ће бити додатно побољшан како би се задовољила потражња за СиЦ енергетским уређајима и ГаНЛЕДс епитаксијалним уређајима.

Систем хемијске реакције који се користи за таложење превлака тантал карбида на угљеничне материјале хемијским таложењем из паре (ЦВД) је ТаЦл5, Ц3Х6, Х2 и Ар, где се Ар користи као гас за разблаживање и ношење.

Превлаке од тантал карбида играју кључну улогу у епитаксијалном процесу ГаН ЛЕД и СиЦ енергетских уређаја који користе МОЦВД. Напредни материјали штите виталне компоненте, обезбеђујући њихову дуговечност и перформансе у тешким условима повезаним са производњом полупроводника на високим температурама.

Како потражња за СиЦ уређајима за напајање и ГаН ЛЕД диодама наставља да расте, производни капацитет премаза од тантал карбида ће се проширити. Произвођачи су спремни да задовоље растуће захтеве ових индустрија, олакшавајући еволуцију технологије високих температура.

У закључку,превлаке од тантал карбидапредстављају невероватан технолошки скок у обезбеђивању трајности и поузданости материјала у окружењима са високим температурама. Како настављају да револуционишу секторе полупроводника и енергетске електронике, ови премази наглашавају њихов статус критичног елемента модерног напредовања високе технологије.