Методе раста АлН кристала

АлН, као полупроводнички материјал треће генерације, није само важан материјал за плаво и ултраљубичасто светло, већ и важан материјал за паковање, диелектричну изолацију и изолацију за електронске уређаје и интегрисана кола, посебно погодан за уређаје високе температуре и велике снаге . Поред тога, АлН и ГаН имају добру термичку подударност и хемијску компатибилност, АлН који се користи као ГаН епитаксијални супстрат, може значајно смањити густину дефеката у ГаН уређајима, побољшати перформансе уређаја.

Због атрактивних перспектива примене, припрема висококвалитетних кристала АлН великих димензија добила је велику пажњу истраживача у земљи и иностранству. Тренутно се кристали АлН припремају методом раствора, директним нитрирањем метала алуминијума, епитаксијом хидридне гасне фазе и физичким транспортом у парној фази (ПВТ). Међу њима, ПВТ метода је постала главна технологија за узгој АлН кристала са својом високом стопом раста (до 500-1000 μм/х) и високим квалитетом кристала (густина дислокација испод 103 цм-2).

Раст кристала АлН ПВТ методом се постиже сублимацијом, транспортом гасне фазе и рекристализацијом АлН праха, а температура средине раста је чак 2 300 ℃. Основни принцип узгоја АлН кристала ПВТ методом је релативно једноставан, као што је приказано у следећој једначини:

2АлН(с) ⥫⥬ 2Ал(г) ＋Н2(г)

Главни кораци процеса раста су следећи: (1) сублимација АлН сировог праха; (2) транспорт гасовитих компоненти сировине; (3) адсорпција компоненти гасне фазе на површини раста; (4) површинска дифузија и нуклеација; и (5) процес десорпције [10]. Под стандардним атмосферским притиском, кристали АлН почињу полако да се разлажу на пару Ал и азот тек на око 1 700 ℃, а реакција разлагања АлН се брзо интензивира када температура достигне 2 200 ℃.

ТаЦ материјал је прави материјал за раст кристала АлН који се користи, са одличним физичким и хемијским својствима, одличном топлотном и електричном проводљивошћу, отпорношћу на хемијску корозију и добром отпорношћу на топлотни удар, што може ефикасно побољшати ефикасност производње и радни век.

Семицорек нуди висок квалитетТаЦ производи за премазивањеса прилагођеном услугом. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом