Утицај температуре на ЦВД-СиЦ премазе

Хемијско таложење паре (ЦВД) је свестрана техника за производњу висококвалитетних премаза са различитим применама у индустријама као што су ваздухопловство, електроника и наука о материјалима. ЦВД-СиЦ премази су познати по својим изузетним својствима, укључујући отпорност на високе температуре, механичку чврстоћу и одличну отпорност на корозију. Процес раста ЦВД-СиЦ је веома сложен и осетљив на неколико параметара, при чему је температура критичан фактор. У овом чланку ћемо истражити утицај температуре на ЦВД-СиЦ превлаке и важност избора оптималне температуре таложења.

Процес раста ЦВД-СиЦ је релативно сложен, а процес се може сумирати на следећи начин: на високим температурама, МТС се термички разлаже да формира мале молекуле угљеника и силицијума, главни молекули извора угљеника су ЦХ3, Ц2Х2 и Ц2Х4, и главни извори молекула силицијума су СиЦл2 и СиЦл3, итд.; ови мали молекули угљеника и силицијума се затим транспортују помоћу гасова носача и разблаживања до близине површине графитног супстрата, а затим се адсорбују у облику адсорбатног стања. Ови мали молекули ће се транспортовати на површину графитног супстрата помоћу гаса носача и гаса за разблаживање, а затим ће ови мали молекули бити адсорбовани на површини супстрата у облику адсорпционог стања, а затим ће мали молекули реаговати са сваким други да формирају мале капљице и расту, а капљице ће се такође спојити једна са другом, а реакција је праћена формирањем интермедијарних нуспроизвода (гас ХЦл); због високе температуре површине графитне подлоге, међугасови ће бити померени са површине супстрата, а затим ће се преостали Ц и Си формирати у чврсто стање. Коначно, Ц и Си преостали на површини супстрата ће формирати чврсту фазу СиЦ да би формирали СиЦ премаз.

Температура уЦВД-СиЦ премазпроцеси су критични параметар који утиче на брзину раста, кристалност, хомогеност, формирање нуспроизвода, компатибилност супстрата и трошкове енергије. Избор оптималне температуре, у овом случају 1100°Ц, представља компромис између ових фактора за постизање жељеног квалитета и својстава премаза.