Чамци за плочице од силицијум-карбида: „невидљиви чувари плочица“ у Семицондуцтор-у

У производњи полупроводника, оксидација укључује стављање плочице у окружење високе температуре где кисеоник струји преко површине плочице да би се формирао оксидни слој. Ово штити плочицу од хемијских нечистоћа, спречава да струја цурења уђе у кола, спречава дифузију током имплантације јона и спречава клизање плочице током јеткања, формирајући заштитни филм на површини плочице. Опрема која се користи у овом кораку је пећ за оксидацију. Главне компоненте унутар реакционе коморе укључују чамац за плочице, подножје, цеви облоге пећи, унутрашње цеви пећи и преграде за топлотну изолацију. Због високе радне температуре, захтеви за перформансама компоненти унутар реакционе коморе су такође високи.

Чамац наполитанки се користи као носач за транспорт и прераду вафла. Требало би да поседује предности као што су висока интеграција, висока поузданост, антистатичка својства, отпорност на високе температуре, отпорност на хабање, отпорност на деформације, добра стабилност и дуг радни век. Пошто је температура оксидације плочице приближно између 800℃ и 1300℃, а захтеви за садржај металних нечистоћа у околини су изузетно строги, кључне компоненте као што је чамац за плочице не само да морају имати одличне термичке, механичке и хемијске особине, већ имају и изузетно низак садржај металних нечистоћа.

На основу подлоге, чамци се могу класификовати као чамци од кварцних кристала,силицијум карбидна керамикачамци за плочице, итд. Међутим, са напретком процесних чворова испод 7 нм и ширењем прозора процеса високих температура, традиционални кварцни чамци постепено постају неадекватни у смислу термичке стабилности, контроле честица и управљања животним веком. Чамци од силицијум карбида (СиЦ чамци) постепено замењују традиционална кварцна решења.

ЗаштоСилицијум карбид?

1. Стабилност при високим температурама

Стабилност на високим температурама је најистакнутија предност СиЦ чамаца. Они практично не показују деформацију или савијање чак и на екстремно високим температурама (>1300°Ц), одржавајући прецизно позиционирање утора за плочице током дужих периода.

2. Ултра-дуг животни век

Један чамац има високу носивост, способан да издржи десетине до стотине 12-инчних плочица истовремено. У поређењу са традиционалним кварцним чамцима, СиЦ чамци нуде просечан животни век 5-10 пута дужи, смањујући учесталост замене опреме и укупне трошкове власништва.

3. Чиста површина и изузетно мала контаминација

Висока чистоћа материјала и изузетно низак садржај металних нечистоћа спречавају секундарну контаминацију силицијумских плочица. Одлична контрола храпавости површине, са Ра испод 0,1 μм, потискује осипање честица и испуњава захтеве за чистоћом напредних процеса.

4. Погодно за процесе ултра-високе температуре

За процесе који захтевају температуре изнад 1200°Ц (као што су одређени специјализовани процеси оксидације дебелог филма, производња СиЦ уређаја или процеси пуњења дубоког рова), СиЦ чамци су незаменљив избор.

Пријаве одЧамци од силицијум карбида

Производња полупроводника

У високотемпературним процесима производње чипова, као што су оксидација, дифузија, таложење хемијском паром (ЦВД) и јонска имплантација, чамци од силицијум карбида се користе за подршку силицијумских плочица, обезбеђујући њихову равност на високим температурама и спречавајући неусклађеност или деформацију решетке узроковане термичким напрезањем, чиме се гарантују предуслови и перформансе чипа.

Пхотоволтаиц Индустри

Керамика од силицијум карбидапоседују одличну механичку чврстоћу, термичку стабилност, отпорност на високе температуре, отпорност на оксидацију, отпорност на термички удар и отпорност на хемијску корозију, што их чини широко примењеним у популарним областима као што су металургија, машине, нова енергија и хемикалије за грађевинске материјале. Њихове перформансе су такође довољне за термичке процесе у фотонапонској производњи, као што су дифузија, ЛПЦВД (хемијско таложење пара ниског притиска) и ПЕЦВД (плазма хемијско таложење паре) за ТОПцон ћелије. У поређењу са традиционалним кварцним материјалима, керамички материјали од силицијум карбида који се користе за израду носача за чамце, малих чамаца и цевастих производа нуде већу чврстоћу, бољу термичку стабилност и не деформишу се под високим температурама. Њихов животни век је такође више од пет пута дужи од кварца, што значајно смањује оперативне трошкове и губитке енергије услед застоја у одржавању. Ово резултира јасном предности у трошковима, а сировине су широко доступне.

Полупроводници треће генерације

У реакционој комори за таложење метално-органске паре (МОЦВД), чамци од силицијум карбида се користе за подршку сафирних супстрата, који издржавају корозивна гасна окружења као што је амонијак (НХ3), подржавајући епитаксијални раст полупроводничких материјала треће генерације као што је галијум нитрид (ГаН) и побољшавају ефикасност и ефикасност ЛЕД-а. У расту монокристала силицијум карбида, чамци од силицијум карбида служе као носачи кристала за семе у пећима за раст монокристала силицијум карбида, издржавајући високотемпературно корозивно окружење растопљеног силицијума, пружајући стабилну подршку за раст монокристала силицијум карбида и промовишући припрему висококвалитетних монокристала силицијум карбида.

Трендови развоја чамаца од силицијум карбида

Што се тиче тржишта, према СЕМИ подацима, величина глобалног тржишта чамаца за плочице је приближно 1,4 милијарде америчких долара у 2025. и предвиђа се да ће достићи 1,8 милијарди долара до 2028. Под претпоставком да ће стопа пенетрације силицијум карбида од 20% и тржишни удео од једне трећине у Кини (подаци из Кинеске асоцијације полупроводника били би 2 милиона америчких долара), а величина тржишта Кине7 милиона долара 864 милиона долара респективно.

Технолошки, силицијум карбид има већи коефицијент топлотног ширења од кварца, што га чини склонијим пуцању у апликацијама. Због тога се интегрисана технологија обликовања промовише у производњи како би се смањили шавови и смањио ризик од осипања честица. Штавише, оптимизација дизајна жлебова за зупце на плочици, у комбинацији са петоосном машинском обрадом и технологијом сечења жице, обезбеђује прецизност и глаткоћу руковања плочицама.

Семицорек нуди висок квалитетЧамци од силицијум карбида. Ако имате било каквих питања или су вам потребни додатни детаљи, не устручавајте се да нас контактирате.

Контакт телефон # +86-13567891907

Емаил: салес@семицорек.цом