Уобичајене полупроводничке кварцне компоненте и апликације

Кварц припада тригоналном кристалном систему, који је тродимензионални оквирни минерални кристал састављен од силицијум диоксида. Типично, чисти кварц је безбојан и провидан, али поприма различите нијансе као резултат трагова пигментних јона, фино диспергованих инклузија или формирања центара боје. Са вишеструким одличним својствима, кварц се широко примењује у различитим процесима производње полупроводника, а његове перформансе и квалитет директно утичу на принос, перформансе и цену полупроводничких уређаја.

1. Кварцни лончић

Тхекварцне лончићесе користе за држање сировина поликристалног силицијума у ​​високотемпературном процесу раста монокристалног силицијума. Да би се обезбедили стабилни потпорни материјали, кварцни лончићи морају да се похвале одличном стабилношћу при високим температурама (тачка топљења >1700℃) и ниским коефицијентом топлотног ширења да би издржали изазове у тешким условима рада при високим температурама. Кварцне лончиће за полупроводничке апликације морају бити произведене од кварца високе чистоће 4Н8 или више. Ова мудра селекција материјала може ефикасно смањити ризик од контаминације кристала узрокованих таложењем нечистоћа из кварцног лончића услед високе температуре.

Цеви за кварцне пећи обично служе као високотемпературне реакционе коморе за различите процесе производње плочица као што су дифузија, оксидација и хемијско таложење паре (ЦВД). Даклецеви за кварцне пећиморају да имају одличну отпорност на високе температуре како би се спречило њихово деформисање или омекшавање узроковано високим температурама. У неким процесима је чак потребан третман дехидроксилацијом да би се смањио утицај хидроксилних група на термичку стабилност. Производња цеви за кварцне пећи такође захтева кварцни материјал високе чистоће са садржајем металних нечистоћа ≤1 ппм како би се спречило таложење нечистоћа током процеса реакције и утицај на резултате обраде плочица.

Кварцни чамци се обично користе у комбинацији са цевима за кварцне пећи за ношење и транспорт десетина до стотина обланда. дакле,кварцни чамциобично треба да поседују исту одличну отпорност на високе температуре, отпорност на корозију и стабилне, поуздане перформансе у смислу механичке чврстоће као цеви за кварцне пећи.

Кварцни фокусни прстеновису специјално дизајнирани за процесе сувог нагризања. Обично се инсталирају око плочице да би се ограничила и хомогенизовала плазма, ефикасно обезбеђујући уједначеност брзине нагризања и узорка на плочици. Ово радно окружење захтева да кварцни фокусни прстенови поседују јаку отпорност на корозију плазме, изузетно високу димензиону тачност и глатку завршну обраду како би се спречила ненормална пражњења или стварање честица.