Сиц поклопац

Семицорек Сиц Лид је витални део који је дизајниран посебно за сеничководну обраду. Дизајниран је за најтежа окружења у епитаксији, ионским имплантацији и апликацијама са високим температурама. Производи се од ултра-чисте силицијумског карбида који има изузетно стабилна својства материјала и пројектовану прецизност. Дугорочна конзистенција, издржљивост и чистоћа су кључни разлози за одабир Посланика за семицорек СИЦ за употребу у напредни процесима полуводичких израда.

Силицијум карбида (СИЦ)има низ својстава која су јединствена у поређењу са традиционалном керамиком или металним материјалима. Једна од главних предности СИЦ-а је његова отпорност на високе температуре. СИЦ може да одржава свој структурни интегритет и механичку стабилност - за дуже временске периоде чак и на повишеним температурама. То чини СИЦ идеално за процесе попут хемијских таложења паре (ЦВД) епитакксија или имплантације високе енергије. Метали и пластика би се деформисали, оксидирали или контаминирали на екстремним температурама, док ће СИЦ одржати своју димензионалну стабилност и неће позитивно комуницирати са обрађеним вафлима.

Хемијска отпорност је друга разликована карактеристика сиц поклопца. У полуводичкој обради окружења које бисте могли сусрести са корозивним гасовима, плазмима или реактивним хемикалијама нису неуобичајене. У тим сценаријима површина СЋ ће пружити инертну баријеру да се одуприје тим контаминантима од понижавања површине током времена резултирајући дужи ефикасан живот. Ова дуговечности се изједначава са смањеним трошковима одржавања, време смањене опреме и поновљивост у целој циклусима проширених процеса. Ови фактори чине СИЦ поклопац бољом опцијом ФАБС-а које захтевају континуирано, високе производње приноса у поређењу са традиционалним материјалима.

Баш као што је хемијска отпорност, чистоћа је такође најважнија у апликацији полуводича. Присуство контаминаната у траговима може имати негативан утицај на перформансе уређаја и принос. Сиц поклопац је направљен од високог чистоће силицијум карбида који искључује могућност металних нечистоће који тече у процесно окружење. Поред тога, загарантовано је што је могуће што је чисто могуће и стабилно јер се односи на контаминанте и спољне силе који утичу на перформансе поклопца, што је критично у испуњавању данашњих правилачких потреба за производњу полуводича, где се предмети на нивоу нанометара не морају дефинисати прецизност и контролу контаминаната и контроле контаминаната и контроли загађивања и контролу нечистоће. Флексибилност коју нуди СИЦ поклопац је додатна вредност. Свака компонента се може осмислити за посебне потребе купца у погледу величине, геометрије и површинске завршне обраде. Ово осигурава да се поклопац може лако уградити и интегрирати са различитим моделима опреме и алата за процесе.

Прецизност обрадеСићПоклопац даље побољшава вредност сиц поклопца. Посемички алат захтевају највећу механичку прецизност због великих флуктуација у димензивној компатибилности и једноличној униформи, чак и мањих варијација у униформности и дебљини материјала могу озбиљно угрозити конзистенције процеса алата, провјере и квалитет производа. Преко напредних технологија у обради материјала, СИЦ поклопци имају равност, површинску униформност и толеранције које прелазе уобичајене индустријске стандарде, нудећи механичку површинску површину дебљине О Ф, обично хиљаде / хиљаде / хиљаде / хиљаде / хиљаде инча (ТИР). Висока равност омогућава бр за бртвљење механичког поготка као и уверење за лабораторијске границе за доживљавање услова у процесу производње могу се поновити. Ово је посебно очигледно у високим количинама ФАБС-а где је нагласак на поновљивост услова пресудно за перформансе уређаја за полуводиче. Када наставите прецизно инжењерство, то директно говори да би се приносила оптимизацији. Када су Сиц поклопци у типичној практичној употреби, на пример, у епитактној на којој се СИЦ поклопац сједи у реактору и хемијски стабилно да би се у систему имплантације у ИОН-у да одоли енергетским сноповима јона који су подстакли су енергично бомбардовање енергичних чврстих материјала, њихове механичке конфигурације и некретнине, њихове механичке конфигурације и некретнине су биле потенцијалне услове и одржавање, а да би били потенцијални удвојили и одржавање и одржавање и одржавање биле потенцијалне услове и одржавање су биле потенцијалне услове и одржавање биле су потенцијалне услове и одржавање биле потенцијалне услове и одржавање су биле потенцијалне удвојице и одржавање и одржавање су били потенцијални услови и одржавање и одржавање су били потенцијални услови и одржавање. Када су Сиц поклопци суђени да су синонимни у производњи полуводича чврстог стања.

Семицорек СИЦ поклопац представља најбоље и научне и материјалне инжењеринг материјала и нуде најбоље перформансе у полуводичком окружењу, међу високим толеранцијама на високим температурама, хемијским отпорностима, идеалном чистоћом, прилагођеним производима, прецизном обрадом, прецизан обрадни рад ће се наступити.